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畢業(yè)設(shè)計（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫） 第10周
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況）
本次是共性的要求：
1、將零件圖全部掃尾，轉(zhuǎn)入下一部工作；
2、按每個人任務(wù)書要求，進(jìn)入設(shè)計說明書或者論文的寫作；
3、注意查閱所提供的各類文獻(xiàn)資料以及老師提供的參考書；
4、工藝方案分析比較要細(xì)，然后確定所需磨具的結(jié)構(gòu)，這是本次設(shè)計的關(guān)鍵；
5、時間要求：5月20日前后初步提交老師初審。
指導(dǎo)教師簽名： 20**年4月25日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
在說明書編寫過程中將隨時上網(wǎng)交流，請教老師。
學(xué)生簽名： 20**年4月26日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫） 第11周
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況）
1、布置學(xué)生按規(guī)定的格式編寫論文，注意重點及論文的要求。
指導(dǎo)教師簽名： 20**年5月5日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、隨時與指導(dǎo)老師在網(wǎng)上交流。
2、多查閱文獻(xiàn)。
學(xué)生簽名： 20**年5月6日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫） 第12周
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況）
1、重點指導(dǎo)校核及計算。
指導(dǎo)教師簽名： 20**年5月9日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、我先復(fù)習(xí)所學(xué)過的有關(guān)課程。
2、要寫的內(nèi)容很多。
3、計算量較大。
學(xué)生簽名： 20**年5月9日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫） 第13周
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況）
1、繪制一張手工零件圖。
指導(dǎo)教師簽名： 20**年5月16日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、根據(jù)指導(dǎo)老師要求，手工繪制一張A3圖紙。
學(xué)生簽名： 20**年5月16日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫） 第14周
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況）
1、零件圖中少線條；
指導(dǎo)教師簽名： 20**年5月23日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、檢查零件圖中錯誤；
2、將零件圖中缺少的線條補(bǔ)全。
學(xué)生簽名： 20**年5月23日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫） 第15 周
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況）
1、修改格式及字體；
2、檢查自己的任務(wù)是否完成；
3、熟悉圖紙和論文內(nèi)容；
4、準(zhǔn)備答辯
指導(dǎo)教師簽名： 20** 年5月30日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
先熟悉圖紙，再熟悉文章，仔細(xì)檢查再把大概熟悉一下。
學(xué)生簽名： 20**年5月30日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫）
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況）
1、交外文翻譯（與專業(yè)相關(guān)的外文資料）漢字3000左右（含譯文與原文）
2、公布本次畢業(yè)設(shè)計有關(guān)題目，選題。
3、題目：全自動真空包裝機(jī)設(shè)計。
3、擬開題報告初稿。
指導(dǎo)教師簽名： 20** 年2月22日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、按照要求交外文翻譯漢字3000左右；
2、搜索并初步了解全自動真空包裝機(jī)設(shè)計的結(jié)構(gòu)組織；
3、根據(jù)課題，擬定開題報告初稿。
學(xué)生簽名： 年 月 日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫）
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況）
1、開題報告格式按照有關(guān)規(guī)定進(jìn)行調(diào)整。
2、下達(dá)畢業(yè)設(shè)計任務(wù)書。
3、初步檢查開題報告編寫進(jìn)度。
指導(dǎo)教師簽名： 20**年 2 月 29日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、 按照規(guī)定對開題報告格式進(jìn)行調(diào)整；
2、 仔細(xì)閱讀畢業(yè)設(shè)計任務(wù)；
3、 初步完成開題報告。
4、
學(xué)生簽名： 年 月 日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫）
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況）
1、本次采用的方式：網(wǎng)上指導(dǎo)。
2、譯文格式，字體、段落要重新處理一下。
3、開題報告內(nèi)容的大框架還可以，有的地方需細(xì)化。
指導(dǎo)教師簽名： 20**年3 月7 日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、按照要求將外文翻譯的格式，字體、段落要重新處理一下；
2、開題報告的細(xì)節(jié)進(jìn)行修改。
學(xué)生簽名： 年 月 日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫）
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況）
本次現(xiàn)場統(tǒng)一布置和講解：
1、主要講解每位所設(shè)計的題目，如何開始進(jìn)行設(shè)計和構(gòu)思。
2、統(tǒng)一設(shè)計時使用的圖紙標(biāo)題欄要求。
3、設(shè)計時使用CAD軟件繪圖，除cad繪圖外必須有手工繪制的一張3號裝配圖。
指導(dǎo)教師簽名： 20**年3月14日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、聽從老師對設(shè)計題目的講解，對全自動真空包裝機(jī)有個初步的構(gòu)思。
2、對設(shè)計時使用的圖紙標(biāo)題欄的統(tǒng)一要求進(jìn)行了解。
3、聽從老師安排，知道設(shè)計的任務(wù)量。
學(xué)生簽名： 年 月 日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫）
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況）
1、查閱資料，參考同類產(chǎn)品的基礎(chǔ)上構(gòu)思自己所設(shè)計結(jié)構(gòu)。
1）傳動方案的選擇，保證傳動的穩(wěn)定性及正確性。
2）在基本參數(shù)和受力分析的條件下，確定各軸的基本尺寸。
3）確真空包裝機(jī)機(jī)構(gòu)中電機(jī)、軸承、鍵型號。
4）軸承類型的選擇。
2、去圖書館查閱相關(guān)資料，啟發(fā)設(shè)計思路。
3、認(rèn)真閱讀所提供參考書的相關(guān)章節(jié)，了解真空包裝機(jī)原理。
指導(dǎo)教師簽名： 20** 年3 月 21 日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、查閱相關(guān)資料，參考同類產(chǎn)品，構(gòu)思自己的設(shè)計，對傳動方案進(jìn)行選擇，確定各軸尺寸，真空包裝機(jī)機(jī)構(gòu)中電機(jī)、軸承、鍵型號，以及軸承類型選擇。
2、在圖書館查閱資料，了解設(shè)計的基本思路。
3、閱讀相關(guān)參考書，了解真空包裝機(jī)的基本工作原理。
學(xué)生簽名： 年 月 日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫）
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況）
該生因工作缺席指導(dǎo)。
指導(dǎo)教師簽名： 20** 年3 月28 日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、根據(jù)上周查閱的相關(guān)資料，對總裝圖進(jìn)行大體的繪制；
2、對圖紙進(jìn)行簡單的標(biāo)注。
學(xué)生簽名： 年 月 日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫）
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況）
網(wǎng)上指導(dǎo)：
1、總裝圖總體布置合理，視圖選擇正確，表達(dá)方法正確，投影規(guī)律正確，但一些細(xì)節(jié)結(jié)構(gòu)表達(dá)有問題或未表達(dá)。
2、標(biāo)注上有一些問題。
3、貫徹國標(biāo)要加強(qiáng)。
指導(dǎo)教師簽名： 20**年4月4 日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、在一些細(xì)節(jié)結(jié)構(gòu)的表達(dá)進(jìn)行修改。
2、對標(biāo)注上出現(xiàn)的小問題進(jìn)行修正。
3、深入了解貫徹國標(biāo)。
學(xué)生簽名： 年 月 日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫）
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況）
本周集中指導(dǎo)，主要講解共性的問題。
1、從整體情況看圖紙設(shè)計進(jìn)度基本一致，但大部分同學(xué)零件圖設(shè)計方面還有少量尺寸遺漏，粗糙度標(biāo)的不完善，回去仔細(xì)檢查一下。
2、總裝圖還有尺寸標(biāo)注問題。
3、技術(shù)要求要標(biāo)注清楚。
4、抓緊時間處理完圖紙問題，接下去著手論文寫作。
指導(dǎo)教師簽名： 20**年4月11日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、 對圖紙上出現(xiàn)的少量尺寸遺漏，粗糙度標(biāo)的不完善進(jìn)一步進(jìn)行完善，檢查仔細(xì)。
2、 對總裝圖的尺寸標(biāo)注問題進(jìn)行修正。
3、 標(biāo)明技術(shù)要求。
4、 處理完圖紙問題，為論文寫作做準(zhǔn)備。
學(xué)生簽名： 年 月 日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫） 第9周
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況）
1、總裝圖一些細(xì)小結(jié)構(gòu)有錯誤。
2、標(biāo)準(zhǔn)件應(yīng)采用新標(biāo)準(zhǔn)，用caxa中的標(biāo)準(zhǔn)即可。
指導(dǎo)教師簽名： 20**年 4月 18日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、修改了錯誤；
2、標(biāo)準(zhǔn)件按新標(biāo)準(zhǔn)重新選用。
學(xué)生簽名： 20**年4月18日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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晶圓級MEMS真空包裝
R. Gooch,a) T. Schimert, W. McCardel, and B. Ritchey
雷聲系統(tǒng)公司，微軟35，達(dá)拉斯，德克薩斯州75243
D. Gilmour and W. Koziarz
空軍研究實驗室/ IFTE，羅馬，紐約13441-4505
(1998年10月12日?1999年4月26日)
真空包裝的高性能紅外（IR）的MEMS非制冷探測器和陣列，慣性MEMS加速度計和陀螺儀，射頻（RF）MEMS諧振器是一個技術(shù)發(fā)展道路，以低成本，高容量的MEMS生產(chǎn)中的關(guān)鍵問題。傳送到晶圓廠的晶圓級真空包裝，包裝操作。它是中性的產(chǎn)品使MEMS商用化的技術(shù)，為家庭，工業(yè)，汽車，環(huán)境監(jiān)測應(yīng)用。 4英寸晶圓級真空包裝已被證明使用紅外MEMS測輻射熱計和結(jié)果將在這篇文章中提出。除了晶圓級封裝，組件級陶瓷真空包真空包裝的可靠性得到的結(jié)果也將提交。 ?1999美國真空學(xué)會。[S0734-2101?99！21204-3]
1、 引言
真空包裝的高性能紅外（IR）的MEMS非制冷探測器和陣列，以及慣性MEMS加速度計和陀螺儀，射頻（RF）MEMS諧振器是在技術(shù)發(fā)展道路的關(guān)鍵問題，以低成本，高容量的MEMS生產(chǎn)。大多數(shù)非致冷探測器技術(shù)采用細(xì)長的熱隔離腿支撐基板薄，熱響應(yīng)暫停膜像素設(shè)計熱隔離。典型的懸浮膜熱阻的熱隔離衡量ED是，即熱導(dǎo)。這樣的隔熱水平，需要分10毫托真空的真空環(huán)境，消除通過氣導(dǎo)包中的熱損失 。
圖1、組件級和晶圓級真空包裝比較方法
在這篇文章中，晶圓級紅外MEMS非制冷探測器的真空包裝的最新研究成果，提出了一個組件級陶瓷真空包裝方法的對比。組件級和晶圓級封裝方法的比較示于圖1。組件級真空包裝過程中涉及到MEMS晶圓切割和安裝在個別其后密封和測試的陶瓷封裝的MEMS芯片。在waferlevel包裝方法，MEMS模具密封在一個密封的過程，并隨后在晶圓級測試。晶圓被切割成個別真空包裝死于測試完成后。晶圓級真空包裝方法的主要優(yōu)點是大大降低了成本和相對較高的卷吞吐量組件級的真空包裝方法。晶圓級封裝還提供低成本微小型化和系統(tǒng)集成方面的關(guān)鍵優(yōu)勢。
圖2（a）1英寸晶圓級真空包裝，密封環(huán)結(jié)構(gòu)（b）1及（c）英寸晶圓，4英寸晶圓
結(jié)果晶圓級真空包裝的a-Si微測陣列。分10毫托真空晶圓級封裝陣列已被證明。從正在進(jìn)行的密封式晶圓級封裝測試的結(jié)果表明，迄今沒有退化包真空包7個月的壽命。一個4英寸晶圓級真空包78％的晶圓密封產(chǎn)量的過程中已被證明。
還提出了一個84針0.7*0.7英寸腔和16針0.2*0.3英寸腔CERDIP封裝陶瓷真空包的可靠性結(jié)果。一個抗反射涂層的硅或鍺蓋密封陶瓷封裝。分10毫托真空包裝的a-Si微測陣列已被證明。此外，陶瓷真空包裝的微測陣列已受到烘烤的高溫穩(wěn)定性測試，在150°為在空軍研究實驗室，紐約，羅馬，1500?沒有包真空退化。陶瓷真空包裝已使用可靠的a-Si微測陣列封裝熱阻接近輻射限制的包熱隔離 。
圖3、1英寸晶圓級<10毫托真空的真空包裝
二、晶圓級真空包裝
晶圓級真空包裝，低成本，高容量的紅外MEMS慣性MEMS，RF MEMS應(yīng)用正在開發(fā)中。1英寸，4英寸晶圓鋸的零件進(jìn)行了初步發(fā)展。的晶圓級封裝過程現(xiàn)在已經(jīng)擴(kuò)大到4英寸晶圓。近日，4英寸晶圓級真空包裝示范使用的a-Si微測陣列晶片已進(jìn)行了密封晶圓產(chǎn)量的78％。
如圖1英寸晶圓級封裝2（a）。1英寸的一部分，有獨立包裝的死，硅微測每個密封環(huán)，見圖6。2（b）一個1英寸晶圓包含四個雙通道微測封裝模具和兩個四通道封裝模具，分別用于在紅外氣體傳感器的應(yīng)用。密封的熱輻射計腔如圖密封下運行使用金屬互連解決。2（b）互連密封圈電絕緣氮化層分離。一個4英寸微測晶圓顯示密封圈結(jié)構(gòu)如圖2（c）。
晶圓級真空包裝，結(jié)果表明包真空<10毫托如圖3。為了獲得精確的校準(zhǔn)在晶圓級真空包裝模具的細(xì)胞壓力，孔鉆在一個密封包裝和包被放置在一個真空杜瓦獲得微測信號與真空壓力校準(zhǔn)曲線顯示在弄清楚。使用曲線，在密封包裝的信號（54毫伏）對應(yīng)到9毫托密封的真空度 。
圖4。晶圓級封裝超過7個月期間的穩(wěn)定
六個打包的穩(wěn)定真空度測量死在1英寸晶圓級封裝[圖2（B）]已進(jìn)行了7個月的期間內(nèi)沒有任何包裝模具的微測信號的退化。圖所示為真空晶圓級封裝123號穩(wěn)定結(jié)果如圖4。在五六個包模的微測信號顯示超過7個月的試驗表明，晶圓級封裝真空并沒有惡化的時期保持穩(wěn)定。一個短的開發(fā)在封裝模具1號之后的第三次測量的數(shù)據(jù)不可用。這些結(jié)果是一個長期可靠的非致冷探測器真空晶圓級封裝的第一個示范。該軟件包將繼續(xù)進(jìn)行監(jiān)測，評估延長一段時間的晶圓級真空包裝的完整性。
晶圓級封裝過程已擴(kuò)大到4英寸晶圓[圖2（c）條]近4英寸的a-Si輻射熱計晶圓級真空包裝示范參展密封產(chǎn)量的78％，整個功能模晶圓。密封4英寸晶圓鋸的個別模具，如圖9以下討論三 。
圖5。84引腳陶瓷封裝（a）顯示安裝陣列（二）密封
3、 用于組件級陶瓷真空包裝的可靠性研究
圖6。 84引腳陶瓷封裝結(jié)果
在本節(jié)中，將真空包裝的穩(wěn)定性和可靠性都高，高溫烘烤穩(wěn)定和組件級陶瓷封裝長期的真空穩(wěn)定性試驗獲得的研究。 84針陶瓷真空包裝，為大面積的MEMS開發(fā)，如圖5。如圖0.7開放84針氧化鋁陶瓷封裝*0.7英寸腔面積。 5（a）與兩個256*78A硅微測陣列安裝在腔。如圖焊接密封抗反射（AR）涂層鍺窗口（8-12微米的光譜帶通）包5（b）。 GE窗口，因為它在8-12微米波段的透明度。此外，低的熱膨脹系數(shù)（CTE）不匹配之間的氧化鋁陶瓷封裝()和GE窗口(~)是產(chǎn)量高，質(zhì)量可靠焊接密封使用這種大包的過程中的一個關(guān)鍵要求。
真空包裝在一個密封的84引腳封裝，得到的結(jié)果如圖6。至于與晶圓級封裝，真空校準(zhǔn)進(jìn)行封裝后密封，在密封包裝的蓋子上鉆一個孔，并放置在真空杜瓦包，獲得了微測信號與真空度的校準(zhǔn)曲線測試。大面積的84引腳陶瓷真空包裝后密封與真空度的微測信號校準(zhǔn)曲線如圖6。在這種情況下的密封包裝測輻射熱計的信號水平是101毫伏。從圖中的校準(zhǔn)曲線，這相當(dāng)于3毫托的真空密封包裝。
圖7。150℃烘烤84引腳陶瓷封裝的穩(wěn)定結(jié)果
兩個84引腳的陶瓷真空包裝，含雙256* 78陣列都受到高溫烘烤穩(wěn)定性測試，在空軍研究實驗室，紐約，羅馬。在測試中，593和595包，以150℃烤1500?。結(jié)果，如圖所示。7，顯示為兩個通道，在每包（-6，-8）的輻射熱計的信號水平。該軟件包進(jìn)行了測試后共100小時，在150°C烘烤和復(fù)檢后，共有350個，1000和1500?，分別在150°?烤。 100小時后，在這兩個探測器的渠道表現(xiàn)出輻射熱計信號略有增加。?1500年之后，這兩個包中的探測器通道593基本保持不變。在595包，是一個信號后小幅回落350?由于部分分層抗反射涂層。然而，最后兩個通道的信號電平與初始信號電平，表示沒有真空包退化。
據(jù)悉，在圖的a-Si微測信號電平第7兩至三次較大，如圖6。相同的條件下進(jìn)行了測量兩套。圖改進(jìn)的信號電平第7，由于最近的a-Si微測熱隔離像素增強(qiáng)。在這些的像素單元，大大提高熱電阻(熱導(dǎo)。已經(jīng)取得了比較以前的報告。
圖8。29日每月17 CERDIP封裝真空包裝真空穩(wěn)定的結(jié)果
最后，對于長期包真空，它指出，84引腳的陶瓷真空包裝的最古老的，現(xiàn)在超過12月齡，表明沒有真空退化的跡象。此外，從長期（29月），真空包裝的穩(wěn)定性試驗的結(jié)果進(jìn)行了AR涂層的硅蓋密封包裝，年齡在圖使用以前開發(fā)的組件級別的16引腳cerdip真空。8。在圖中，最終微測信號的比例（29個月后）的初始信號顯示，基本上仍然是統(tǒng)一測試表明微測信號沒有退化，因此包真空超過29個月期間，為17個包。
圖9顯示了六個WLVP模具從密封4英寸晶圓被鋸掉，安裝和測試包進(jìn)行他們通過同一套陶瓷包裝的輻射熱計陣列的環(huán)境試驗。評價是目前正在進(jìn)行。都死了幾百小時150°?烘烤后存活不變。
圖9。六WLVP模具在評價的84針包
四、 概要
真空包裝的高性能紅外MEMS的非制冷探測器和陣列，以及慣性MEMS加速度計和陀螺儀，射頻MEMS諧振器是一個低成本，大批量MEMS生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展路徑中的關(guān)鍵問題。在這篇文章中，晶圓級紅外MEMS非制冷探測器的真空包裝的最新研究成果進(jìn)行了介紹和對比與組件級陶瓷真空包裝方法。在MEMS的晶圓級封裝方法，模具密封在一個密封的過程，并隨后在晶圓級測試。晶圓被切割成個別真空包裝死于測試完成后。晶圓級真空包裝方法的主要優(yōu)點是大大降低了成本和相對較高的卷吞吐量組件級別的真空包裝方法。晶圓級封裝還提供低成本微小型化和系統(tǒng)集成方面的關(guān)鍵優(yōu)勢。
晶圓級真空包裝的a-Si微測陣列的結(jié)果。分10毫托真空晶圓級封裝陣列進(jìn)行了論證。從正在進(jìn)行的密封式晶圓級封裝測試的結(jié)果表明，迄今沒有退化包真空包7個月的壽命。一個4英寸晶圓級真空包78％的晶圓密封產(chǎn)量的過程中被證明。
還介紹了一個84針的0.7英寸*0.7英寸腔和16針0.2英寸*0.3英寸腔CERDIP封裝陶瓷真空包的可靠性結(jié)果。一個抗反射涂層的硅或鍺蓋密封陶瓷封裝。分10毫托真空包裝的a-Si微測陣列已被證明。此外，陶瓷真空包裝的微測陣列受到高溫穩(wěn)定性烤測試包真空中沒有退化為1500?150℃。
致謝
真空包裝的開發(fā)工作，支持DARPA的合同號F30602-97-C-0127，“MEMS真空包裝，COTR，杜安吉爾莫，美國空軍研究實驗室，DARPA的ETO項目經(jīng)理，埃利亞斯Towe; DARPA的駐MEMS項目經(jīng)理，鋁皮薩諾。作者感謝卡洛斯·卡斯特羅有益的討論和支持。他們還感謝貝蒂莫西爾，簡·亨利，約翰·克拉克，馬克Gulsvig，蘇珊·燕子和諾米·威廉姆斯，他們的技術(shù)援助。
1T。 schimert，R·古奇，W. McCardel，R.特里爾，S.萊羅，J.惠特尼，P.克羅格，和Ahne答，1996年環(huán)境和過程監(jiān)控，空氣及廢物的光學(xué)傳感技術(shù)的國際專業(yè)會議論文集管理協(xié)會，1997年，第67-77頁。
7
任務(wù)書
題 目
全自動真空包裝機(jī)設(shè)計
論文時間
20**年2月20日至 20**年6月1日
課題的主要內(nèi)容及要求(含技術(shù)要求、圖表要求等)
根據(jù)以下參數(shù)，設(shè)計一種全自動真空包裝機(jī)計，完成總裝圖及零件。編寫設(shè)計說明書；完成專業(yè)外文資料翻譯1份。
1. 真空室的最低絕對壓強(qiáng);
2. 袋寬，袋長，袋厚；
3. 封口寬度；
4. 工作循環(huán)標(biāo)準(zhǔn)周期20秒，可調(diào)節(jié)；
5. 熱風(fēng)時間調(diào)節(jié)范圍1-5秒；
6. 額定總功率3.75KW；
7. 水平位置即可傾斜度1-20；
8. 外形尺寸（長寬高）.
課題的實施的方法、步驟及工作量要求
設(shè)計方法：學(xué)生在指導(dǎo)教師的指導(dǎo)下，利用所學(xué)的課程并自學(xué)有關(guān)知識，掌握機(jī)械設(shè)計的特點、方法，借助《機(jī)械設(shè)計手冊》等技術(shù)資料，完成本機(jī)設(shè)計。
設(shè)計步驟：調(diào)研收集設(shè)計資料——根據(jù)所給定的參數(shù)制定總體設(shè)計方案——完成總裝圖及部裝圖——完成零件圖——編寫設(shè)計說明書。
工作量要求：設(shè)計圖紙工作量合計3張零號圖紙，A0圖紙2張，A1圖紙2張，A3圖紙1張；畢業(yè)設(shè)計說明書不少于8000漢字；外文資料原文(與課題相關(guān)的1萬印刷符號左右)，外文資料翻譯譯文（約3000漢字）。
指定參考文獻(xiàn)
[1]濮梁貴、紀(jì)名剛主編.機(jī)械設(shè)計[M].北京：高等教育出版社出版.2001-6-1
[2]徐灝主編.機(jī)械設(shè)計手冊[M](第一卷).北京：機(jī)械工業(yè)出版社.2004-4-1
[3]江耕華主編.機(jī)械傳動設(shè)計手冊(上、下）[M].北京：煤炭工業(yè)版.1997-7-1
[4]張聰主編.自動化食品包裝機(jī)[J].廣東科技出版社.2003-5-1
[5]成大先.機(jī)械設(shè)計手冊（第七卷）[M].北京:化學(xué)工業(yè)出版社,2002
[6]Uffe Hindhede .Machine Design Fundamentals — A Practical Approach[J].New York：Wiley出版社，1983.
畢業(yè)設(shè)計(論文)進(jìn)度計劃(以周為單位)
第 1 周（20**年 2月20日----20**年 2 月 26 日）：
下達(dá)設(shè)計任務(wù)書，明確任務(wù)，熟悉課題，收集資料，上交外文翻譯、參考文獻(xiàn)和開題報告。
第2周——第8周（20**年 2 月 27 日----20**年4 月 15 日）：
制定總體方案，繪制總裝圖草圖。
第 9 周——第14周（20**年4月16 日----20**年 5月 27日）：
修改并完成總裝圖及部裝圖，完成有關(guān)零件圖的設(shè)計。
第15 周（20**年 5 月28日----20**年 6 月5 日）：
編寫設(shè)計說明書
第 16 周（20**年 6月 6日----20**年6 月 8 日）：
準(zhǔn)備答辯
備注
開題報告
題 目
全自動真空包裝機(jī)設(shè)計
學(xué)生姓名、學(xué)號
專業(yè)
指導(dǎo)教師姓名
職稱
一、選題的目的意義
包裝機(jī)械是指能完成全部或部分產(chǎn)品和商品包裝過程的機(jī)械。
包裝過程包括充填、裹包、封口等主要工序，以及與其相關(guān)的前后工序，如清洗、堆碼和拆卸等。此外，包裝還包括計量或在包裝件上蓋印等工序。使用機(jī)械包裝產(chǎn)品可提高生產(chǎn)率,減輕勞動強(qiáng)度,適應(yīng)大規(guī)模生產(chǎn)的需要，并滿足清潔衛(wèi)生的要求。
包裝過程包括充填、裹包、封口等主要工序，以及與其相關(guān)的前后工序，如清洗、堆碼和拆卸等。包裝機(jī)械此外，包裝還包括計量或在包裝件上蓋印等工序。使用機(jī)械包裝產(chǎn)品可提高生產(chǎn)率，減輕勞動強(qiáng)度，適應(yīng)大規(guī)模生產(chǎn)的需要，并滿足清潔衛(wèi)生的要求。
包裝機(jī)械有多種分類方法。按功能可分為單功能包裝機(jī)和多功能包裝機(jī)；按使用目的可分為內(nèi)包裝機(jī)和外包裝機(jī)；按包裝品種又可分為專用包裝機(jī)和通用包裝機(jī)；按自動化水平分為半自動機(jī)和全自動機(jī)等。
成型-充填-封口包裝機(jī)是一種多功能的包裝機(jī)。物料進(jìn)入包裝機(jī)的頂部后，計量部分將定好數(shù)量的產(chǎn)品依次送入物料通道。卷筒包裝材料在通過物料通道的外壁時，被成形器卷繞成筒狀，縱封器將其縱向縫焊封牢固。橫封器完成包裝袋的頂封和下一個袋子的底封，成為兩道焊縫。由于下料通道被包裝袋裹住，底封封焊后就可直接向袋內(nèi)下料，隨之移動一個工位完成頂封封口，并用切刀切斷，完成包裝工序。
卷筒包裝材料有單層的和復(fù)合的。單層的如防潮玻璃紙、聚乙烯、聚丙烯、高密度聚乙烯，復(fù)合的如拉伸聚丙烯／聚乙烯、聚乙烯／玻璃紙／鋁箔。此外還有可熱封的材料等。包裝封口型式有枕式封口、三邊封口和四邊封口等。裝盒機(jī)用于產(chǎn)品銷售的包裝。
包裝機(jī)械裝盒機(jī)是用于產(chǎn)品銷售包裝的機(jī)械，它將經(jīng)過計量的一份定量物料裝入盒中，并把盒的開口部分閉合或封固。裝箱機(jī)用于完成運輸包裝，它將包裝成品按一定排列方式和定量裝入箱中，并把箱的開口部分閉合或封固。裝盒機(jī)和裝箱機(jī)均有容器成形(或打開容器)、計量、裝入、封口等功能。
傳統(tǒng)的包裝存在著一些缺點:一是包裝的方法老舊，二是包裝浪費時間，還有就是包裝的手動占很大的部分，造成勞動力的浪費，所以現(xiàn)存的包裝機(jī)不能快速高科技節(jié)省勞動力的對對象進(jìn)行自動化包裝，因此我們就此進(jìn)行設(shè)計.
本包裝機(jī)主要是用于對包裝物進(jìn)行包裝，使被包裝物達(dá)到相對密封，從而起到良好的保護(hù)和裝飾作用。設(shè)計爭取采用新的機(jī)器包裝后能完成對包裝物的自動包裝.并具有包裝速度快，包裝范圍廣泛，操作簡便等特點。并且能達(dá)到提高工作效率，節(jié)省工作時間，減少產(chǎn)品包裝成本，提高產(chǎn)品檔次，從而利用高新科技達(dá)到接生成本.完成包裝物的纏繞包裝.這樣使包裝機(jī)的使用壽命也能大大加強(qiáng).包裝機(jī)的包裝的可靠性也會大大加強(qiáng).達(dá)到社會上要求的標(biāo)準(zhǔn).提高社會生產(chǎn)力。
2、 國內(nèi)外研究現(xiàn)狀
國家發(fā)展改革委批準(zhǔn)! 項包裝行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)經(jīng)國家發(fā)展改革委批準(zhǔn)，《包裝容器20mm口徑鋁氣霧罐》等4項包裝行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)將于2004年6月1日起實施，并于近日由國家標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行。
可熱灌裝的塑料瓶：
德國一家公司推出一種可灌裝熱至95°C食品的聚酯塑料瓶。這種塑料瓶在制造過程中，將液態(tài)的聚酯吹入一熱膜中，聚酯在與熱膜接觸時形成結(jié)晶，變得更具有彈性，不會因受熱而變形。同時，還在塑料瓶上增加了豎向的增強(qiáng)力，可抑制瓶壁向內(nèi)收縮。由于食品進(jìn)行熱灌裝，因而有利于食品的保鮮和保存。
全自動真空包裝機(jī)：
法國一家公司制成了一種全自動真空包裝機(jī)，適用于食品和藥品的包裝。該包裝機(jī)由圓盤型聚乙烯密封器與卡盤式過濾器的雙向瓣構(gòu)成，利用超聲波密封由各種多層材料制成的包裝袋或硬質(zhì)容器蓋。在密封前需抽出容器內(nèi)部的殘留空氣，使其保持-0.098兆pa的真空狀態(tài)，并用以全自動方式或簡單的手槍操作注入一種或數(shù)種中性氣體（氮或碳酸氣），然后進(jìn)行密封。密封處理容量為,10-2000L的乙烯類包裝或硬質(zhì)容器包裝。食品等物品經(jīng)這種真空包裝機(jī)處理后，能防止微生物的分解、細(xì)菌的繁殖和抑制氧化、蒸發(fā)等現(xiàn)象產(chǎn)生。
塑料軟容器的循環(huán)使用：
目前用于裝飲料的塑料軟容器大多是用PET制成的，通常不宜重復(fù)用于再裝飲料，因為它達(dá)不到嚴(yán)格的凈化標(biāo)準(zhǔn)。
美國一家公司采用甲醇分解技術(shù)，使上述塑料容器能夠循環(huán)使用。處理部門先將回收的塑料瓶碾成聚酯片，作為再循環(huán)的原料。此原料添加甲醇后進(jìn)行熱處理，使之分解成聚酯的組成成份--對酞酸二甲酯和乙二醇。然后，把對酞酸二甲酯放在離心機(jī)中進(jìn)行長時間的旋轉(zhuǎn)，使其中的雜質(zhì)被分離掉。乙二醇則置于大槽中煮沸，以除去其中的雜質(zhì)。添加的甲醇可以回收。
被完全提純的對酞酸二甲酯隨即運往制瓶廠，再次把它浸在乙二醇內(nèi)，最后合成新的PET塑料。美國可口可樂公司已經(jīng)采用了含有這種再生塑料成分的容器。
能延長啤酒保質(zhì)期的瓶蓋:
美國一家公司開發(fā)出一種新型啤酒瓶蓋，它能夠延長啤酒保質(zhì)期。
啤酒怕氧化，氧氣多了就容易變質(zhì)。美國開發(fā)的這種新型瓶蓋具有吸氧功能。在瓶蓋內(nèi)嵌入了一種吸收氧的化合物襯墊，可通過襯墊上的小孔吸收啤酒瓶頂空隙處的氧氣。使用這種瓶蓋，能使啤酒的保質(zhì)期延長二、三個月。
目前在我國，受經(jīng)濟(jì)條件和技術(shù)水平的限制，手動和半自動進(jìn)行包裝仍是我國中最常用的包裝方式。由于投資成本較低，我國勞動力豐富，且操作簡單甲所以在中小型企業(yè)獲得了廣泛應(yīng)用。
隨著科技的不斷發(fā)展，傳統(tǒng)的包裝技術(shù)難以滿足現(xiàn)今的包裝要求。國外普遍利用全自動包裝機(jī)等來替代老舊的包裝技術(shù)，這種全自動包裝在工業(yè)發(fā)達(dá)國家已開始推廣使用。在國內(nèi)包裝行業(yè)中，近年來開始嘗試采用全自動機(jī)包裝機(jī)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的手工包裝的方法，已經(jīng)初步推廣。
全自動包裝機(jī)在完成包裝技術(shù)的同時也能節(jié)能環(huán)保，同時使用時間長久，但是鑒于它的設(shè)備體積大、功率因數(shù)低、費用較高等原因，在中小型工廠上多不用。把傳統(tǒng)的全自動包裝機(jī)改成更加節(jié)能，占地小，功率高全自動包裝質(zhì)量優(yōu)良，價格合理的包裝機(jī)器是全自動包裝機(jī)發(fā)展的一個重要工程。
三、設(shè)計任務(wù)要求
根據(jù)給定的設(shè)計參數(shù)，設(shè)計性能可靠，結(jié)構(gòu)合理的真空包裝機(jī)。
1. 翻譯一萬字符的外文資料。
2. 編訂詳細(xì)的設(shè)計說明書。
3. 完成總裝配圖，上箱部件圖及氣路圖。
四、設(shè)計依據(jù)
1. 真空室的最低絕對壓強(qiáng);
2. 袋寬，袋長，袋厚；
3. 封口寬度；
4. 工作循環(huán)標(biāo)準(zhǔn)周期20秒，可調(diào)節(jié)；
5. 熱風(fēng)時間調(diào)節(jié)范圍1-5秒；
6. 額定總功率3.75KW；
7. 水平位置即可傾斜度1-20；
8. 外形尺寸（長寬高）。
五、主要參考文獻(xiàn)及資料
[1]濮梁貴、紀(jì)名剛主編.機(jī)械設(shè)計[M].北京：高等教育出版社出版.2001-6-1
[2]徐灝主編.機(jī)械設(shè)計手冊[M](第一卷).北京：機(jī)械工業(yè)出版社.2004-4-1.
[3]江耕華主編.機(jī)械傳動設(shè)計手冊(上、下）[M].北京：煤炭工業(yè)版.1997-7-1.
[4]張聰主編.自動化食品包裝機(jī)[J].廣東科技出版社.2003-5-1.
[5]成大先.機(jī)械設(shè)計手冊（第七卷）[M].北京:化學(xué)工業(yè)出版社,2002.
[6]Uffe Hindhede .Machine Design Fundamentals — A Practical Approach[J].New York：Wiley出版社，1983.
學(xué)生簽名： 年 月 日
指導(dǎo)教師批閱意見
（指導(dǎo)教師應(yīng)對課題研究的思路、方法、對策、措施和預(yù)期成效等做出評價，并提出具體的改進(jìn)意見）
指導(dǎo)教師簽名： 年 月 日
注：理工類學(xué)生偏重于對課題相關(guān)知識的理解和實施方案的框架結(jié)構(gòu)，文管類學(xué)生偏重于對文獻(xiàn)資料的理解與綜述。表格欄高不夠可自行增加。
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