《機(jī)械工程測(cè)試技術(shù)》配套PPT課件

《機(jī)械工程測(cè)試技術(shù)》配套PPT課件,機(jī)械工程測(cè)試技術(shù),機(jī)械工程,測(cè)試,技術(shù),配套,PPT,課件 東北大學(xué)機(jī)械工程與自動(dòng)化學(xué)院（東北大學(xué)機(jī)械工程與自動(dòng)化學(xué)院（2012）Page2學(xué)習(xí)導(dǎo)航學(xué)習(xí)導(dǎo)航5.1 5.1 傳感器概述傳感器概述5.2 5.2 電阻式傳感器電阻式傳感器5.3 5.3 電感式傳感器電感式傳感器5.4 5.4 電容傳感器電容傳感器5.5 5.5 壓電傳感器壓電傳感器5.6 5.6 磁電式傳感器磁電式傳感器5.7 5.7 光電傳感器光電傳感器5.8 5.8 光纖傳感器光纖傳感器5.9 5.9 新型傳感器新型傳感器Page35.1.1 5.1.1 傳感器的定義與組成傳感器的定義與組成傳感器定義：傳感器定義：以一定的精度和規(guī)律把被測(cè)量轉(zhuǎn)換為與之有確定以一定的精度和規(guī)律把被測(cè)量轉(zhuǎn)換為與之有確定關(guān)系的、便于應(yīng)用的某種物理量的測(cè)量裝置。關(guān)系的、便于應(yīng)用的某種物理量的測(cè)量裝置。傳感器組成傳感器組成：敏感元件敏感元件：直接感受被測(cè)量直接感受被測(cè)量,輸出與被測(cè)量成確定關(guān)系。輸出與被測(cè)量成確定關(guān)系。轉(zhuǎn)換元件轉(zhuǎn)換元件：敏感元件的輸出就是轉(zhuǎn)換元件的輸入敏感元件的輸出就是轉(zhuǎn)換元件的輸入,它把輸入它把輸入轉(zhuǎn)換成電量參量轉(zhuǎn)換成電量參量 。轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換電路：把轉(zhuǎn)換元件輸出的電量信號(hào)轉(zhuǎn)換為便于處理、顯把轉(zhuǎn)換元件輸出的電量信號(hào)轉(zhuǎn)換為便于處理、顯示、記錄或控制的有用的電信號(hào)的電路。示、記錄或控制的有用的電信號(hào)的電路。5.1傳感器概述傳感器概述Page4傳感器組成實(shí)例拳擊袋測(cè)力傳感器的工作原理5.1傳感器概述傳感器概述Page5 5.1.2 5.1.2 傳感器的分類傳感器的分類 A按傳感器的工作機(jī)理按傳感器的工作機(jī)理：分為物理型、化學(xué)型和生物型。分為物理型、化學(xué)型和生物型。按傳感器的輸入量按傳感器的輸入量：分為位移、壓力、溫度、流量、加速度等。分為位移、壓力、溫度、流量、加速度等。按傳感器的輸出量按傳感器的輸出量：分為模擬式傳感器和數(shù)字式傳感器。分為模擬式傳感器和數(shù)字式傳感器。按轉(zhuǎn)換過程是否可逆按轉(zhuǎn)換過程是否可逆：分為雙向傳感器、單向傳感器。分為雙向傳感器、單向傳感器。5.1傳感器概述傳感器概述Page65.1.1 5.1.1 傳感器的分類傳感器的分類 B 按傳感器的構(gòu)成原理按傳感器的構(gòu)成原理：分為分為物性型物性型和和結(jié)構(gòu)型結(jié)構(gòu)型兩大類。兩大類。按傳感器的能量轉(zhuǎn)換情況按傳感器的能量轉(zhuǎn)換情況：分為分為能量轉(zhuǎn)換型能量轉(zhuǎn)換型和和能量控制型能量控制型。A A 物性型與結(jié)構(gòu)型傳感器物性型與結(jié)構(gòu)型傳感器物性型物性型:依靠敏感元件材料本身物理性質(zhì)的變化來(lái)實(shí)現(xiàn)信號(hào)變換依靠敏感元件材料本身物理性質(zhì)的變化來(lái)實(shí)現(xiàn)信號(hào)變換.例如例如:水銀溫度計(jì)水銀溫度計(jì),壓電測(cè)力計(jì)壓電測(cè)力計(jì).結(jié)構(gòu)型結(jié)構(gòu)型:依靠傳感器結(jié)構(gòu)參數(shù)的變化實(shí)現(xiàn)信號(hào)轉(zhuǎn)變依靠傳感器結(jié)構(gòu)參數(shù)的變化實(shí)現(xiàn)信號(hào)轉(zhuǎn)變.例如例如:電容式和電感式傳感器電容式和電感式傳感器.B B 能量轉(zhuǎn)換型和能量控制型傳感器能量轉(zhuǎn)換型和能量控制型傳感器能量轉(zhuǎn)換型能量轉(zhuǎn)換型:直接由被測(cè)對(duì)象輸入能量使其工作直接由被測(cè)對(duì)象輸入能量使其工作.例如例如:熱電偶溫度計(jì)熱電偶溫度計(jì),壓電式加速度計(jì)壓電式加速度計(jì).能量控制型能量控制型:從外部供給能量并由被測(cè)量控制外部供給能量的變化從外部供給能量并由被測(cè)量控制外部供給能量的變化.例如例如:電阻應(yīng)變片電阻應(yīng)變片.5.1傳感器概述傳感器概述Page7按傳感器的工作原理分為按傳感器的工作原理分為：電阻式傳感器電阻式傳感器 壓電式傳感器壓電式傳感器磁電式傳感器磁電式傳感器 光電式傳感器光電式傳感器氣電式傳感器氣電式傳感器 熱電式傳感器熱電式傳感器射線式傳感器射線式傳感器 波式傳感器波式傳感器半導(dǎo)體式傳感器半導(dǎo)體式傳感器 其他原理傳感器其他原理傳感器 5.1.1 5.1.1 傳感器的分類傳感器的分類 C C5.1傳感器概述傳感器概述Page85.1.3 5.1.3 傳感器的技術(shù)指標(biāo)傳感器的技術(shù)指標(biāo)基本參數(shù)指標(biāo)環(huán)境參數(shù)指標(biāo)可靠性指標(biāo)其它指標(biāo)量程指標(biāo):量程范圍、過載能力等靈敏度指標(biāo):靈敏度、分辨力、滿量程輸出、輸入輸出阻抗等精度有關(guān)指標(biāo):精度、誤差、線性、滯后、重復(fù)性、靈敏度誤差、穩(wěn)定性等動(dòng)態(tài)性能指標(biāo):固有頻率、阻尼比、時(shí)間常數(shù)、頻率響應(yīng)范圍、頻率特性、臨界頻率、臨界速度、穩(wěn)定時(shí)間、過沖量、穩(wěn)態(tài)誤差溫度指標(biāo):工作溫度范圍、溫度誤差、溫度漂移、溫度系數(shù)、熱滯后等抗沖振指標(biāo):允許各向抗沖振的頻率、振幅及加速度、沖振所引入的誤差等其它環(huán)境參數(shù):抗潮濕、抗介質(zhì)腐蝕能力、抗電磁干擾能力等工作壽命、平均無(wú)故障時(shí)間、保險(xiǎn)期、疲勞性能、絕緣電阻、耐壓及抗飛弧等使用有關(guān)指標(biāo):供電方式(直流、交流、頻率及波形等)、功率、各項(xiàng)分布參數(shù)值、電壓范圍與穩(wěn)定度等結(jié)構(gòu)方面指標(biāo):外形尺寸、重量、殼體材質(zhì)、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)等安裝連接方面指標(biāo):安裝方式、饋線電纜等5.1傳感器概述傳感器概述Page9傳感器選用原則傳感器選用原則 l 靈敏度靈敏度:高，測(cè)量范圍，方向性高，測(cè)量范圍，方向性 l 響應(yīng)特性響應(yīng)特性:快，不失真快，不失真 l 線性范圍：線性范圍：工作量程工作量程 l 穩(wěn)定性穩(wěn)定性 ：時(shí)間和環(huán)境時(shí)間和環(huán)境l 精確度精確度 ：高，但要考慮經(jīng)濟(jì)性高，但要考慮經(jīng)濟(jì)性 1 1 確定測(cè)試方式和初步確定傳感器類型確定測(cè)試方式和初步確定傳感器類型 2 2 分析測(cè)試環(huán)境和干擾因素分析測(cè)試環(huán)境和干擾因素 3 3 根據(jù)測(cè)試范圍確定某種傳感器根據(jù)測(cè)試范圍確定某種傳感器 4 4 確定測(cè)量方式確定測(cè)量方式 5 5 體積、價(jià)格、易維護(hù)性等體積、價(jià)格、易維護(hù)性等5.1傳感器概述傳感器概述Page105.1.4 5.1.4 傳感器技術(shù)的主要應(yīng)用及發(fā)展趨勢(shì)傳感器技術(shù)的主要應(yīng)用及發(fā)展趨勢(shì) （1 1）在工業(yè)生產(chǎn)過程的測(cè)量與控制方面的應(yīng)用）在工業(yè)生產(chǎn)過程的測(cè)量與控制方面的應(yīng)用 （2 2）在汽車電控系統(tǒng)中的應(yīng)用）在汽車電控系統(tǒng)中的應(yīng)用 （3 3）在現(xiàn)代醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用）在現(xiàn)代醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用 （4 4）在環(huán)境監(jiān)測(cè)方面的應(yīng)用）在環(huán)境監(jiān)測(cè)方面的應(yīng)用 （5 5）在軍事方面的應(yīng)用）在軍事方面的應(yīng)用 （6 6）在家用電器方面的應(yīng)用）在家用電器方面的應(yīng)用 （7 7）在學(xué)科研究方面的應(yīng)用）在學(xué)科研究方面的應(yīng)用 （8 8）在智能建筑領(lǐng)域中的應(yīng)用）在智能建筑領(lǐng)域中的應(yīng)用 1.傳感器技術(shù)的主要應(yīng)用傳感器技術(shù)的主要應(yīng)用Page11傳感器的發(fā)展趨勢(shì)傳感器的發(fā)展趨勢(shì) 采用新原理、開發(fā)新型傳感器；采用新原理、開發(fā)新型傳感器；大力開發(fā)物性型傳感器大力開發(fā)物性型傳感器(結(jié)構(gòu)型滿足不了要求結(jié)構(gòu)型滿足不了要求)；傳感器的集成化；傳感器的集成化；傳感器的多功能化；傳感器的多功能化；傳感器的智能化傳感器的智能化(Smart Sensor)(Smart Sensor)；研究生物感官，開發(fā)仿生傳感器。研究生物感官，開發(fā)仿生傳感器。5.1傳感器概述傳感器概述Page125.2 5.2 電阻式傳感器電阻式傳感器 基本原理基本原理 ：將被測(cè)物理量的變化轉(zhuǎn)換成將被測(cè)物理量的變化轉(zhuǎn)換成電阻值電阻值電阻值電阻值的變化，再經(jīng)相應(yīng)的測(cè)量電的變化，再經(jīng)相應(yīng)的測(cè)量電路路將電阻變化變換為電壓或電流進(jìn)行測(cè)量將電阻變化變換為電壓或電流進(jìn)行測(cè)量。按工作原理分按工作原理分 1 應(yīng)變式電阻傳感器應(yīng)變式電阻傳感器2變阻器式電阻傳感器變阻器式電阻傳感器Page135.2電阻式傳感器電阻式傳感器5.2.1電阻應(yīng)變傳感器電阻應(yīng)變傳感器Page14應(yīng)變傳感器應(yīng)變傳感器特點(diǎn)及使用特點(diǎn)及使用特點(diǎn)：特點(diǎn)：性能穩(wěn)定，精度高性能穩(wěn)定，精度高;測(cè)量范圍寬測(cè)量范圍寬;頻率響應(yīng)較好頻率響應(yīng)較好,可用于可用于靜態(tài)、動(dòng)態(tài)靜態(tài)、動(dòng)態(tài)測(cè)量測(cè)量;體積重量小，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，價(jià)格低體積重量小，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，價(jià)格低,品種多樣品種多樣,便于選擇和大便于選擇和大量使用；量使用；對(duì)環(huán)境適應(yīng)能力強(qiáng)。對(duì)環(huán)境適應(yīng)能力強(qiáng)。缺點(diǎn)：輸出信號(hào)微弱缺點(diǎn)：輸出信號(hào)微弱 。使用：使用：直接粘在被測(cè)試件上；直接粘在被測(cè)試件上；粘在彈性體上，構(gòu)成各種物理傳感器。粘在彈性體上，構(gòu)成各種物理傳感器。5.2電阻式傳感器電阻式傳感器Page15電阻式傳感器的工作原理（電阻式傳感器的工作原理（1 1）設(shè)電阻應(yīng)變片的初始阻值為：設(shè)電阻應(yīng)變片的初始阻值為：變形時(shí)，變形時(shí)，、l l、A A將同時(shí)發(fā)生變化，從而導(dǎo)致將同時(shí)發(fā)生變化，從而導(dǎo)致R R改變。改變。若若、l l、A A的變化量為的變化量為d d、dldl、dAdA，則：，則：即：即：對(duì)半徑為對(duì)半徑為r r的金屬電阻絲有：的金屬電阻絲有：從而：從而：5.2電阻式傳感器電阻式傳感器Page16電阻應(yīng)變計(jì)的工作原理（電阻應(yīng)變計(jì)的工作原理（2 2）金屬的電阻應(yīng)變效應(yīng)金屬的電阻應(yīng)變效應(yīng)：導(dǎo)體在外力作用下發(fā)生機(jī)械變形時(shí)，：導(dǎo)體在外力作用下發(fā)生機(jī)械變形時(shí)，其電阻值隨所受機(jī)械變形（應(yīng)變）的變化而發(fā)生變化的現(xiàn)象。其電阻值隨所受機(jī)械變形（應(yīng)變）的變化而發(fā)生變化的現(xiàn)象。其中，其中，由電阻絲幾何尺寸隨應(yīng)變改變由電阻絲幾何尺寸隨應(yīng)變改變所引起。對(duì)于同一電阻材料，所引起。對(duì)于同一電阻材料，為常數(shù)。為常數(shù)。由電阻率隨應(yīng)變的改變引起，對(duì)金屬電由電阻率隨應(yīng)變的改變引起，對(duì)金屬電阻絲，阻絲，很小。很小。5.2電阻式傳感器電阻式傳感器Page17即電阻相對(duì)變化與應(yīng)變成正比。比值即電阻相對(duì)變化與應(yīng)變成正比。比值K K0 0稱為稱為 電阻應(yīng)變片的應(yīng)變系數(shù)或靈敏度。電阻應(yīng)變片的應(yīng)變系數(shù)或靈敏度。通常：通常：K K0 0=1.7=1.73.63.6。電阻應(yīng)變計(jì)的工作原理（電阻應(yīng)變計(jì)的工作原理（3 3）從而：從而：5.2電阻式傳感器電阻式傳感器Page18電阻應(yīng)變式傳感器結(jié)構(gòu)電阻應(yīng)變式傳感器結(jié)構(gòu) v組成：組成：l l 稱為稱為柵長(zhǎng)柵長(zhǎng)(標(biāo)距標(biāo)距)，b b稱為稱為柵寬柵寬(基寬基寬)，b bl l稱為應(yīng)稱為應(yīng)變片的使用面積。應(yīng)變片的規(guī)格以面積和電阻值表示，變片的使用面積。應(yīng)變片的規(guī)格以面積和電阻值表示，如如3mm3mm20mm20mm，120120。5.2電阻式傳感器電阻式傳感器Page19q 絲式應(yīng)變片絲式應(yīng)變片 結(jié)構(gòu)：將高電阻率金屬結(jié)構(gòu)：將高電阻率金屬絲（康銅、鎳鉻、卡瑪絲（康銅、鎳鉻、卡瑪合金等，直徑為合金等，直徑為0.0250.025mmmm左右）繞成柵左右）繞成柵形，粘貼在絕緣的基片形，粘貼在絕緣的基片和覆蓋層之間，引出導(dǎo)和覆蓋層之間，引出導(dǎo)線接于電路中。線接于電路中。金屬電阻應(yīng)變片分為金屬電阻應(yīng)變片分為絲式、箔式絲式、箔式和和膜式膜式等。等。電阻應(yīng)變片的分類及材料電阻應(yīng)變片的分類及材料5.2電阻式傳感器電阻式傳感器Page20絲式應(yīng)變片制作簡(jiǎn)單、性能穩(wěn)定、成本低、易粘貼。絲式應(yīng)變片制作簡(jiǎn)單、性能穩(wěn)定、成本低、易粘貼。金屬絲式應(yīng)變片有金屬絲式應(yīng)變片有回線式回線式和和短接式短接式兩種。兩種。回線式應(yīng)變片因圓弧部分參與變形，回線式應(yīng)變片因圓弧部分參與變形，橫向效應(yīng)橫向效應(yīng)較大；較大；短接式應(yīng)變片敏感柵平行排列，兩端用直徑比柵線直徑大短接式應(yīng)變片敏感柵平行排列，兩端用直徑比柵線直徑大 5 51010倍的鍍銀絲短接而成，其優(yōu)點(diǎn)是克服了橫向效應(yīng)。倍的鍍銀絲短接而成，其優(yōu)點(diǎn)是克服了橫向效應(yīng)。絲式應(yīng)變片安全電流：絲式應(yīng)變片安全電流：101050mA50mA，電阻：，電阻：5050 10001000（典型（典型120120）。）。p金屬絲式應(yīng)變片金屬絲式應(yīng)變片5.2電阻式傳感器電阻式傳感器Page21 箔式應(yīng)變片箔式應(yīng)變片由厚度為由厚度為 0.0030.0030.01mm 0.01mm 的康銅箔或鎳鉻箔經(jīng)的康銅箔或鎳鉻箔經(jīng)光刻，腐蝕工藝制成的柵狀箔片。光刻，腐蝕工藝制成的柵狀箔片。箔式應(yīng)變片適于箔式應(yīng)變片適于大批量生產(chǎn)大批量生產(chǎn)，可制成多種復(fù)雜形狀，線條，可制成多種復(fù)雜形狀，線條均勻，敏感柵尺寸準(zhǔn)確，柵長(zhǎng)最小可到均勻，敏感柵尺寸準(zhǔn)確，柵長(zhǎng)最小可到0.2mm 0.2mm；散熱好散熱好，允許電流大；，允許電流大；橫向效應(yīng)、蠕變和機(jī)械滯后小，疲勞橫向效應(yīng)、蠕變和機(jī)械滯后小，疲勞壽命長(zhǎng)壽命長(zhǎng)；柔性好（可貼于形狀復(fù)雜的表面），柔性好（可貼于形狀復(fù)雜的表面），傳遞試件應(yīng)變性能好傳遞試件應(yīng)變性能好。目前使用的應(yīng)變片目前使用的應(yīng)變片大多是大多是金屬箔式應(yīng)變片。金屬箔式應(yīng)變片。箔式應(yīng)變片箔式應(yīng)變片5.2電阻式傳感器電阻式傳感器Page22箔式應(yīng)變片樣品箔式應(yīng)變片樣品5.2電阻式傳感器電阻式傳感器Page23膜式應(yīng)變片采用真空蒸發(fā)或真空沉積等方法，在薄的絕緣膜式應(yīng)變片采用真空蒸發(fā)或真空沉積等方法，在薄的絕緣基片上形成厚度在基片上形成厚度在0.10.1 m m以下的金屬電阻材料薄膜的敏感柵。以下的金屬電阻材料薄膜的敏感柵。優(yōu)點(diǎn)是應(yīng)變靈敏系數(shù)大，允許電流密度大，工作范圍廣，優(yōu)點(diǎn)是應(yīng)變靈敏系數(shù)大，允許電流密度大，工作范圍廣，可達(dá)可達(dá)197197317317。膜式應(yīng)變片膜式應(yīng)變片5.2電阻式傳感器電阻式傳感器Page24電阻應(yīng)變式傳感器分類電阻應(yīng)變式傳感器分類2 2按基底不同：紙基、膠基，金屬基。按基底不同：紙基、膠基，金屬基。被測(cè)量應(yīng)力場(chǎng)不同：?jiǎn)蜗驊?yīng)力的應(yīng)變計(jì)、平面應(yīng)力應(yīng)變計(jì)。被測(cè)量應(yīng)力場(chǎng)不同：?jiǎn)蜗驊?yīng)力的應(yīng)變計(jì)、平面應(yīng)力應(yīng)變計(jì)。5.2電阻式傳感器電阻式傳感器Page25 電阻應(yīng)變片的性能參數(shù)電阻應(yīng)變片的性能參數(shù) （1 1）應(yīng)變片電阻值）應(yīng)變片電阻值(R R0 0)（2 2）幾何尺寸）幾何尺寸Page26應(yīng)用：應(yīng)用：直接用來(lái)測(cè)量直接用來(lái)測(cè)量結(jié)構(gòu)的應(yīng)變或結(jié)構(gòu)的應(yīng)變或應(yīng)力應(yīng)力 電阻應(yīng)變式傳感器的應(yīng)用電阻應(yīng)變式傳感器的應(yīng)用A A軋機(jī)立柱上應(yīng)變計(jì)的布置和接線方式5.2電阻式傳感器電阻式傳感器Page27q 將應(yīng)變片貼于彈性元件上，作為測(cè)量力、位移、將應(yīng)變片貼于彈性元件上，作為測(cè)量力、位移、壓力、加速度等物理參數(shù)的傳感器壓力、加速度等物理參數(shù)的傳感器 電阻應(yīng)變式傳感器的應(yīng)用電阻應(yīng)變式傳感器的應(yīng)用B B5.2電阻式傳感器電阻式傳感器Page28利用半導(dǎo)體單晶的利用半導(dǎo)體單晶的壓阻效應(yīng)壓阻效應(yīng)使阻值變化。使阻值變化。壓阻效應(yīng)：壓阻效應(yīng)：?jiǎn)尉О雽?dǎo)體材料在沿某一軸向受到外力作用時(shí)，單晶半導(dǎo)體材料在沿某一軸向受到外力作用時(shí)，其電阻率其電阻率 發(fā)生變化的現(xiàn)象。發(fā)生變化的現(xiàn)象。單晶半導(dǎo)體在外力作用下的電阻變化量仍為：?jiǎn)尉О雽?dǎo)體在外力作用下的電阻變化量仍為：對(duì)半導(dǎo)體而言，電阻率變化引起的電阻變化對(duì)半導(dǎo)體而言，電阻率變化引起的電阻變化，遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于形變引起的電阻變化，遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于形變引起的電阻變化從而得：從而得：5.2.2 5.2.2 壓阻式傳感器壓阻式傳感器5.2電阻式傳感器電阻式傳感器Page29半導(dǎo)體硅的靈敏度半導(dǎo)體硅的靈敏度50-10050-100。半導(dǎo)體應(yīng)變片的靈敏度比金。半導(dǎo)體應(yīng)變片的靈敏度比金屬絲應(yīng)變片大屬絲應(yīng)變片大 50508 80 0倍。不同材料的半導(dǎo)體、不同載荷倍。不同材料的半導(dǎo)體、不同載荷施加方向，壓阻效應(yīng)不同，靈敏度也不同。施加方向，壓阻效應(yīng)不同，靈敏度也不同。兩種類型：兩種類型：半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)、固態(tài)壓阻傳感器半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)、固態(tài)壓阻傳感器。固態(tài)壓阻傳感器是在半導(dǎo)體材料基片上用集成電路工藝固態(tài)壓阻傳感器是在半導(dǎo)體材料基片上用集成電路工藝制成的擴(kuò)散電阻，亦稱擴(kuò)散型壓阻傳感器，或固態(tài)壓阻制成的擴(kuò)散電阻，亦稱擴(kuò)散型壓阻傳感器，或固態(tài)壓阻傳感器。主要用于測(cè)量壓力和加速度等。傳感器。主要用于測(cè)量壓力和加速度等。半導(dǎo)體式應(yīng)變片結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體式應(yīng)變片結(jié)構(gòu)5.2電阻式傳感器電阻式傳感器Page30p優(yōu)點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)靈敏度高：有時(shí)傳感器的輸出不需放大可直接用于測(cè)靈敏度高：有時(shí)傳感器的輸出不需放大可直接用于測(cè)量量 分辨率高，例如測(cè)量壓力時(shí)，可測(cè)出分辨率高，例如測(cè)量壓力時(shí)，可測(cè)出101020Pa20Pa的微壓；的微壓；機(jī)械滯后小、橫向效應(yīng)小、體積小、頻機(jī)械滯后小、橫向效應(yīng)小、體積小、頻 響高、響高、易于集成化易于集成化 q 缺點(diǎn)：缺點(diǎn)：溫度穩(wěn)定性能差；靈敏度分散度大；大應(yīng)力作用，溫度穩(wěn)定性能差；靈敏度分散度大；大應(yīng)力作用，非線性誤差大；非線性誤差大；機(jī)械強(qiáng)度低。機(jī)械強(qiáng)度低。半導(dǎo)體式應(yīng)變片特點(diǎn)半導(dǎo)體式應(yīng)變片特點(diǎn)5.2電阻式傳感器電阻式傳感器Page31變阻器式傳感器原理變阻器式傳感器原理 變阻器式傳感器是精密線繞電位器，通過改變電位器變阻器式傳感器是精密線繞電位器，通過改變電位器觸頭位置將位移轉(zhuǎn)換為電阻變化。觸頭位置將位移轉(zhuǎn)換為電阻變化。其中，其中，：電阻率；：電阻率；l l：導(dǎo)體長(zhǎng)度；：導(dǎo)體長(zhǎng)度；A A：導(dǎo)體截面積。：導(dǎo)體截面積。顯然，若導(dǎo)體材質(zhì)和截面積一定，其阻值隨導(dǎo)顯然，若導(dǎo)體材質(zhì)和截面積一定，其阻值隨導(dǎo) 線長(zhǎng)度而線性變化。線長(zhǎng)度而線性變化。導(dǎo)體電阻公式導(dǎo)體電阻公式：（）5.2.3 5.2.3 變阻式傳感器變阻式傳感器5.2電阻式傳感器電阻式傳感器Page32變阻式傳感器結(jié)構(gòu)與分類變阻式傳感器結(jié)構(gòu)與分類v用途用途：除可以測(cè)量線位移或角位移外：除可以測(cè)量線位移或角位移外,還可以測(cè)量可還可以測(cè)量可以轉(zhuǎn)換為位移的其它物理量參數(shù)以轉(zhuǎn)換為位移的其它物理量參數(shù),如壓力、加速度等。如壓力、加速度等。v變阻式傳感器分類：變阻式傳感器分類：按結(jié)構(gòu)形式不同按結(jié)構(gòu)形式不同,可分為線繞式、可分為線繞式、薄膜式、光電式等；按其特性曲線不同薄膜式、光電式等；按其特性曲線不同,則可分為線性則可分為線性電位器和非線性電位器。電位器和非線性電位器。5.2電阻式傳感器電阻式傳感器Page33如圖，當(dāng)改變觸如圖，當(dāng)改變觸點(diǎn)點(diǎn)C C的位置時(shí)，的位置時(shí)，ACAC間電阻值：間電阻值：k kl l：?jiǎn)挝婚L(zhǎng)度內(nèi)的電阻值，材質(zhì)均勻時(shí)為常數(shù)。：?jiǎn)挝婚L(zhǎng)度內(nèi)的電阻值，材質(zhì)均勻時(shí)為常數(shù)。當(dāng)導(dǎo)線均勻分布時(shí)，輸出（電阻）與輸入（位移）成線當(dāng)導(dǎo)線均勻分布時(shí)，輸出（電阻）與輸入（位移）成線性關(guān)系。性關(guān)系。傳感器靈敏度：傳感器靈敏度：（/m m）xCxABCRR=klxS S=d=dR R/d/dx x=k kl l直線位移型直線位移型5.2電阻式傳感器電阻式傳感器Page34直線位移型電位器的輸出端電壓：直線位移型電位器的輸出端電壓：當(dāng)負(fù)載電阻當(dāng)負(fù)載電阻R RL L ，相應(yīng)位移相應(yīng)位移x x的電壓輸出的電壓輸出式中式中 K KL L為電壓靈敏度。為電壓靈敏度。電位器的輸出電壓電位器傳感器負(fù)載特性電位器傳感器負(fù)載特性5.2電阻式傳感器電阻式傳感器Page35（/rad）：角位移；角位移；k k：?jiǎn)挝换《葘?duì)應(yīng)的：?jiǎn)挝换《葘?duì)應(yīng)的電阻值，材質(zhì)均勻時(shí)電阻值，材質(zhì)均勻時(shí)為常數(shù)。為常數(shù)。傳感器靈敏度傳感器靈敏度：角位移型角位移型圖為回轉(zhuǎn)型變阻器式傳感器，其電阻值隨轉(zhuǎn)角而變化，圖為回轉(zhuǎn)型變阻器式傳感器，其電阻值隨轉(zhuǎn)角而變化，故為角位移型。故為角位移型。5.2電阻式傳感器電阻式傳感器Page36非線性電位器非線性電位器 非線性電位器，又稱函數(shù)電位器非線性電位器，又稱函數(shù)電位器。是其輸出電阻與。是其輸出電阻與電刷位移電刷位移(包括線位移或角位移包括線位移或角位移)之間具有非線性函之間具有非線性函數(shù)關(guān)系的一種電位器。它可以實(shí)現(xiàn)指數(shù)函數(shù)、三角數(shù)關(guān)系的一種電位器。它可以實(shí)現(xiàn)指數(shù)函數(shù)、三角函數(shù)、對(duì)數(shù)函數(shù)等變換，也可以是其它任意函數(shù)。函數(shù)、對(duì)數(shù)函數(shù)等變換，也可以是其它任意函數(shù)。若輸出量為若輸出量為 ，電位計(jì)的骨架應(yīng)采用三角電位計(jì)的骨架應(yīng)采用三角形；形；輸出量為輸出量為 ，電位計(jì)的骨架應(yīng)采用拋物電位計(jì)的骨架應(yīng)采用拋物線型。線型。5.2電阻式傳感器電阻式傳感器Page37(1)(1)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、尺寸小、重量輕、價(jià)格低且性能穩(wěn)定；結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、尺寸小、重量輕、價(jià)格低且性能穩(wěn)定；(2)(2)受環(huán)境因素受環(huán)境因素(溫度、濕度、電磁場(chǎng)干擾等溫度、濕度、電磁場(chǎng)干擾等)影響??；影響??；(3)(3)可以實(shí)現(xiàn)輸出可以實(shí)現(xiàn)輸出輸入間任意函數(shù)關(guān)系；輸入間任意函數(shù)關(guān)系；(4)(4)輸出信號(hào)大，一般不需放大。輸出信號(hào)大，一般不需放大。變阻式傳感器的優(yōu)點(diǎn)變阻式傳感器的優(yōu)點(diǎn)5.2電阻式傳感器電阻式傳感器Page38變阻式傳感器的缺點(diǎn)變阻式傳感器的缺點(diǎn)（1 1）因?yàn)榇嬖陔娝⑴c線圈或電阻膜之間摩擦，因此需要較大）因?yàn)榇嬖陔娝⑴c線圈或電阻膜之間摩擦，因此需要較大的輸入能量；的輸入能量；（2 2）由于磨損不僅影響使用壽命和降低可靠性，而且會(huì)降低）由于磨損不僅影響使用壽命和降低可靠性，而且會(huì)降低測(cè)量精度，分辨力較低；測(cè)量精度，分辨力較低；（3 3）動(dòng)態(tài)響應(yīng)較差，適合于測(cè)量變化較緩慢的量。）動(dòng)態(tài)響應(yīng)較差，適合于測(cè)量變化較緩慢的量。5.2電阻式傳感器電阻式傳感器Page39變阻式傳感器應(yīng)用實(shí)例變阻式傳感器應(yīng)用實(shí)例 變阻式傳感器變阻式傳感器常用來(lái)測(cè)量位移、壓力、加速度等參量。常用來(lái)測(cè)量位移、壓力、加速度等參量。被測(cè)位移使測(cè)量軸沿導(dǎo)軌被測(cè)位移使測(cè)量軸沿導(dǎo)軌軸向移動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)電刷在軸向移動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)電刷在滑線電阻上產(chǎn)生相同的位滑線電阻上產(chǎn)生相同的位移，從而改變電位器的輸移，從而改變電位器的輸出電阻。出電阻。氣缸行程電阻位移傳感器氣缸行程電阻位移傳感器(瑞典瑞典REGALREGAL公司）公司）5.2電阻式傳感器電阻式傳感器Page405.3 5.3 電感式傳感器電感式傳感器 概述概述 電感式傳感器將被測(cè)量，如位移或能轉(zhuǎn)換成位電感式傳感器將被測(cè)量，如位移或能轉(zhuǎn)換成位 移的機(jī)械量，轉(zhuǎn)換為電感量的變化。其變換的移的機(jī)械量，轉(zhuǎn)換為電感量的變化。其變換的 基礎(chǔ)是基礎(chǔ)是電磁感應(yīng)原理電磁感應(yīng)原理。按照變換方式的不同可分為：按照變換方式的不同可分為：自感型自感型（包括可（包括可 變磁阻式與電渦流式）、變磁阻式與電渦流式）、互感型互感型（差動(dòng)變壓器（差動(dòng)變壓器 式）。式）。Page415.3.1 5.3.1 自感型傳感器自感型傳感器 1 1 可變磁阻式傳感器的構(gòu)造如圖，由線圈、鐵芯和銜鐵可變磁阻式傳感器的構(gòu)造如圖，由線圈、鐵芯和銜鐵組成。在鐵芯與銜鐵之間存在氣隙組成。在鐵芯與銜鐵之間存在氣隙。記記5.3電感式傳感器電感式傳感器Page421 1 可變磁阻式傳感器可變磁阻式傳感器傳感器靈敏度與氣隙長(zhǎng)度的平方成反比。傳感器靈敏度與氣隙長(zhǎng)度的平方成反比。若固定導(dǎo)磁截面積若固定導(dǎo)磁截面積A A0 0 ，變化，變化 時(shí)時(shí)5.3電感式傳感器電感式傳感器Page43為了減小非線性誤差，通常使這種傳感器在較小間隙范圍內(nèi)為了減小非線性誤差，通常使這種傳感器在較小間隙范圍內(nèi)工作。工作。設(shè)間隙變化范圍為（設(shè)間隙變化范圍為（0 0，0 0+），實(shí)際應(yīng)用中，取），實(shí)際應(yīng)用中，取/0 0 0.10.1。變氣隙長(zhǎng)度式傳感器適用于。變氣隙長(zhǎng)度式傳感器適用于微小位移微小位移的測(cè)量，測(cè)的測(cè)量，測(cè)量范圍：量范圍：0.0010.0011 1mmmm。變磁阻式傳感器變磁阻式傳感器變化變化 5.3電感式傳感器電感式傳感器Page44 如果將如果將固定，變化空氣隙導(dǎo)磁截面積固定，變化空氣隙導(dǎo)磁截面積 時(shí)，自感時(shí)，自感L L與與 呈線性關(guān)系。呈線性關(guān)系。變磁阻式傳感器變磁阻式傳感器變化截面積變化截面積 5.3電感式傳感器電感式傳感器Page45 1 1）可變導(dǎo)磁面積型：線性，靈敏度低）可變導(dǎo)磁面積型：線性，靈敏度低2 2）差動(dòng)型：提高靈敏度，改善線性特性）差動(dòng)型：提高靈敏度，改善線性特性 2.2.可變磁阻式傳感器典型結(jié)構(gòu)可變磁阻式傳感器典型結(jié)構(gòu)5.3電感式傳感器電感式傳感器Page46 3 3）單螺管線圈型：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易制造，靈敏度低，）單螺管線圈型：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易制造，靈敏度低，適于較大位移（數(shù)毫米）測(cè)量適于較大位移（數(shù)毫米）測(cè)量 4 4）雙螺管差動(dòng)型：提高靈敏度，改善線性）雙螺管差動(dòng)型：提高靈敏度，改善線性變磁阻式傳感器變磁阻式傳感器螺管螺管線圈型圈型5.3電感式傳感器電感式傳感器Page47電渦流式傳感器電渦流式傳感器當(dāng)金屬板置于變化著的磁場(chǎng)中時(shí)，或者在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)時(shí)，當(dāng)金屬板置于變化著的磁場(chǎng)中時(shí)，或者在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)時(shí)，在金屬板上產(chǎn)生感應(yīng)電流，這種電流在金屬體內(nèi)是閉合的，在金屬板上產(chǎn)生感應(yīng)電流，這種電流在金屬體內(nèi)是閉合的，所以稱為渦流。渦流的大小與金屬板的電阻率、磁導(dǎo)率、所以稱為渦流。渦流的大小與金屬板的電阻率、磁導(dǎo)率、厚度厚度t t以及金屬板與線圈距離、激勵(lì)電流、角頻率等參數(shù)有以及金屬板與線圈距離、激勵(lì)電流、角頻率等參數(shù)有關(guān)。若固定其他參數(shù)，僅僅改變其中某一參數(shù)，就可以根關(guān)。若固定其他參數(shù)，僅僅改變其中某一參數(shù)，就可以根據(jù)渦流大小測(cè)定該參數(shù)。據(jù)渦流大小測(cè)定該參數(shù)。渦流式電感傳感器可分為渦流式電感傳感器可分為高頻反射式和低頻透射式高頻反射式和低頻透射式兩類。兩類。2 2 電渦流式傳感器電渦流式傳感器 5.3電感式傳感器電感式傳感器Page48高頻反射式電渦流式傳感器動(dòng)畫高頻反射式電渦流式傳感器動(dòng)畫 5.3電感式傳感器電感式傳感器Page49金屬板置于線圈附近，相互間距為金屬板置于線圈附近，相互間距為 。當(dāng)線圈中通入高頻交。當(dāng)線圈中通入高頻交變電流變電流i i 時(shí)，產(chǎn)生磁通時(shí)，產(chǎn)生磁通 ，此交變磁通作用于鄰近的金屬板，此交變磁通作用于鄰近的金屬板（由于趨膚效應(yīng)，僅作用于金屬板表面的薄層內(nèi)），使金屬（由于趨膚效應(yīng)，僅作用于金屬板表面的薄層內(nèi)），使金屬板產(chǎn)生板產(chǎn)生“旋渦狀旋渦狀”的閉合感應(yīng)電流的閉合感應(yīng)電流 i i1 1（稱為（稱為渦電流渦電流或或渦流渦流）。）。該電流也產(chǎn)生交變磁通該電流也產(chǎn)生交變磁通 1 1，反作用于線圈，根據(jù)楞次定律，反作用于線圈，根據(jù)楞次定律，渦流的交變磁場(chǎng)變化方向與線圈磁場(chǎng)變化方向相反，渦流的交變磁場(chǎng)變化方向與線圈磁場(chǎng)變化方向相反，1 1總是總是抵抗抵抗 的變化，從而導(dǎo)致原線圈等效阻抗發(fā)生變化。的變化，從而導(dǎo)致原線圈等效阻抗發(fā)生變化。高頻反射式電渦流式傳感器原理高頻反射式電渦流式傳感器原理 5.3電感式傳感器電感式傳感器Page50 傳感器等效阻抗的變化程度與線圈尺寸、距離傳感器等效阻抗的變化程度與線圈尺寸、距離、金屬板電阻率金屬板電阻率 和磁導(dǎo)率和磁導(dǎo)率、線圈激勵(lì)電流、線圈激勵(lì)電流i i及其頻率及其頻率 有關(guān)。有關(guān)。通常線圈尺寸、激勵(lì)電流通常線圈尺寸、激勵(lì)電流i i及其頻率及其頻率 一定，若金一定，若金屬板材料一定，屬板材料一定，變化變化 可以用來(lái)測(cè)量位移、振動(dòng)等參量可以用來(lái)測(cè)量位移、振動(dòng)等參量。若若 一定，一定，變化變化 或或 可實(shí)現(xiàn)材質(zhì)鑒別或無(wú)損探傷可實(shí)現(xiàn)材質(zhì)鑒別或無(wú)損探傷。高頻反射式電渦流式傳感器特性高頻反射式電渦流式傳感器特性 5.3電感式傳感器電感式傳感器Page51如圖如圖W W1 1和和W W2 2分別為發(fā)射線圈和接收線圈，分別為發(fā)射線圈和接收線圈，兩線圈間存在金屬板兩線圈間存在金屬板G G，低頻（音頻），低頻（音頻）交流電流流經(jīng)交流電流流經(jīng)W W1 1產(chǎn)生交變磁場(chǎng)穿過金屬產(chǎn)生交變磁場(chǎng)穿過金屬板作用于板作用于W W2 2，并產(chǎn)生感應(yīng)電壓，并產(chǎn)生感應(yīng)電壓E E2 2。由于。由于金屬板產(chǎn)生的渦流消耗了一部分磁場(chǎng)能金屬板產(chǎn)生的渦流消耗了一部分磁場(chǎng)能量，從而使量，從而使E E2 2有所降低，板越厚，有所降低，板越厚，E E2 2越低。即越低。即E E2 2的大小間接反映了金屬板的大小間接反映了金屬板的厚度。的厚度。低頻透射式渦流傳感器原理低頻透射式渦流傳感器原理厚度厚度 h h（越大）越大）,渦流（渦流（）,e e（）。）。思考：思考：（越大）（越大）（越小越?。?.3電感式傳感器電感式傳感器Page52 動(dòng)態(tài)、非接觸測(cè)量動(dòng)態(tài)、非接觸測(cè)量 靈敏度高靈敏度高 分辨力高，檢測(cè)范圍：分辨力高，檢測(cè)范圍：1 1mmmm 1010mmmm，最高分辨力可達(dá)最高分辨力可達(dá)llm m。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，不受油液等介質(zhì)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，不受油液等介質(zhì) 影響影響 渦流傳感器測(cè)量特點(diǎn)渦流傳感器測(cè)量特點(diǎn)5.3電感式傳感器電感式傳感器Page53渦流傳感器應(yīng)用渦流傳感器應(yīng)用利用位移利用位移x x作為變換量，做成測(cè)量位移、厚度、振動(dòng)、轉(zhuǎn)速等作為變換量，做成測(cè)量位移、厚度、振動(dòng)、轉(zhuǎn)速等傳感器，也可做成接近開關(guān)、計(jì)數(shù)器等；傳感器，也可做成接近開關(guān)、計(jì)數(shù)器等；利用材料電阻率利用材料電阻率作為變換量，可以做成溫度測(cè)量、材質(zhì)判作為變換量，可以做成溫度測(cè)量、材質(zhì)判別等傳感器；別等傳感器；利用材料導(dǎo)磁率利用材料導(dǎo)磁率作為變換量，可以做成測(cè)量應(yīng)力、硬度等作為變換量，可以做成測(cè)量應(yīng)力、硬度等傳感器；傳感器；利用變換量利用變換量，x x的綜合影響，可以做成探傷裝置。的綜合影響，可以做成探傷裝置。5.3電感式傳感器電感式傳感器Page54 回轉(zhuǎn)軸振動(dòng)測(cè)試回轉(zhuǎn)軸振動(dòng)測(cè)試 回轉(zhuǎn)軸誤差測(cè)量回轉(zhuǎn)軸誤差測(cè)量 厚度測(cè)量厚度測(cè)量 零件計(jì)數(shù)零件計(jì)數(shù) 接近開關(guān)接近開關(guān) 表面裂紋或缺陷檢測(cè)表面裂紋或缺陷檢測(cè) 材質(zhì)判別材質(zhì)判別 渦流傳感器實(shí)用領(lǐng)域渦流傳感器實(shí)用領(lǐng)域油管油管檢測(cè)檢測(cè)5.3電感式傳感器電感式傳感器Page55渦流傳感器的應(yīng)用動(dòng)畫演示渦流傳感器的應(yīng)用動(dòng)畫演示5.3電感式傳感器電感式傳感器Page56差動(dòng)變壓器式電感傳感器原理差動(dòng)變壓器式電感傳感器原理 由互感現(xiàn)象，傳感器初級(jí)線圈由互感現(xiàn)象，傳感器初級(jí)線圈W W1 1 輸輸入入交交流流電電流流時(shí)時(shí)，次次級(jí)級(jí)線線圈圈W W2 2產(chǎn)產(chǎn)生生感感應(yīng)應(yīng)電電動(dòng)動(dòng)勢(shì)勢(shì)，其其大大小小與與初初級(jí)級(jí)線線圈圈電電流流的的變變化率成正比。即：化率成正比。即：M M為兩線圈的互感，其大小與兩線圈的相對(duì)位為兩線圈的互感，其大小與兩線圈的相對(duì)位 置及周圍介質(zhì)的導(dǎo)磁能力等因素有關(guān)。置及周圍介質(zhì)的導(dǎo)磁能力等因素有關(guān)。5.3電感式傳感器電感式傳感器Page57當(dāng)被測(cè)量轉(zhuǎn)換為銜鐵位移時(shí)，傳感器兩線圈的互感改當(dāng)被測(cè)量轉(zhuǎn)換為銜鐵位移時(shí)，傳感器兩線圈的互感改變，導(dǎo)致輸出相應(yīng)改變。變，導(dǎo)致輸出相應(yīng)改變。實(shí)際的互感傳感器通常采用兩個(gè)次級(jí)線圈，并接成差實(shí)際的互感傳感器通常采用兩個(gè)次級(jí)線圈，并接成差動(dòng)式，故稱為差動(dòng)變壓器式傳感器。動(dòng)式，故稱為差動(dòng)變壓器式傳感器。差動(dòng)變壓器式傳感器原理差動(dòng)變壓器式傳感器原理A A 5.3電感式傳感器電感式傳感器Page58差動(dòng)變壓器式傳感器原理動(dòng)畫差動(dòng)變壓器式傳感器原理動(dòng)畫 5.3電感式傳感器電感式傳感器Page59輸出是交流，只反映大小，不能反映極性；輸出是交流，只反映大小，不能反映極性；輸出存在零點(diǎn)殘余電壓；輸出存在零點(diǎn)殘余電壓；后接電路解決以上問題。后接電路解決以上問題。下圖為用于小位移測(cè)量的差動(dòng)相敏檢波電路，其中下圖為用于小位移測(cè)量的差動(dòng)相敏檢波電路，其中R R用用于調(diào)節(jié)零點(diǎn)殘余電壓的大小。于調(diào)節(jié)零點(diǎn)殘余電壓的大小。差動(dòng)變壓器差動(dòng)變壓器相敏檢波電路相敏檢波電路5.3電感式傳感器電感式傳感器Page60差動(dòng)相敏檢波電路動(dòng)畫差動(dòng)相敏檢波電路動(dòng)畫5.3電感式傳感器電感式傳感器Page61 精度高精度高(0.1(0.1 m m 數(shù)量級(jí)，最高可達(dá)數(shù)量級(jí)，最高可達(dá)0.010.01 m)m)，高，高 精度型非線性誤差可達(dá)精度型非線性誤差可達(dá)0.1%0.1%線性范圍大（可達(dá)線性范圍大（可達(dá) 100mm100mm）穩(wěn)定性好，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便穩(wěn)定性好，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便 因包含機(jī)械結(jié)構(gòu)，頻率響應(yīng)較低，不宜測(cè)量高頻動(dòng)態(tài)參因包含機(jī)械結(jié)構(gòu)，頻率響應(yīng)較低，不宜測(cè)量高頻動(dòng)態(tài)參量量 差動(dòng)變壓器差動(dòng)變壓器特點(diǎn)特點(diǎn)5.3電感式傳感器電感式傳感器Page62應(yīng)用應(yīng)用1 1案例：案例：板的厚度測(cè)量板的厚度測(cè)量 案例：案例：張力測(cè)量張力測(cè)量5.3電感式傳感器電感式傳感器Page63應(yīng)用應(yīng)用2 2振動(dòng)和加速度的測(cè)量振動(dòng)和加速度的測(cè)量銜鐵受振動(dòng)和加速度的作用，使彈簧受力變形，與彈簧連接的銜銜鐵受振動(dòng)和加速度的作用，使彈簧受力變形，與彈簧連接的銜鐵的位移大小反映了振動(dòng)的幅度和頻率以及加速度的大小。鐵的位移大小反映了振動(dòng)的幅度和頻率以及加速度的大小。液位測(cè)量液位測(cè)量采用了電感式傳感器的沉采用了電感式傳感器的沉筒式液位計(jì)。筒式液位計(jì)。由于液位的變化，沉筒所由于液位的變化，沉筒所受浮力也將產(chǎn)生變化，這受浮力也將產(chǎn)生變化，這一變化轉(zhuǎn)變成銜鐵的位移，一變化轉(zhuǎn)變成銜鐵的位移，從而改變了差動(dòng)變壓器的從而改變了差動(dòng)變壓器的輸出電壓，這個(gè)輸出值反輸出電壓，這個(gè)輸出值反映了液位的變化值。映了液位的變化值。5.3電感式傳感器電感式傳感器Page645.3.3 5.3.3 壓磁式傳感器壓磁式傳感器 1.1.壓磁效應(yīng)壓磁效應(yīng) 磁疇、磁化、磁飽和的概念磁疇、磁化、磁飽和的概念鐵鐵磁磁材材料料在在晶晶格格形形成成過過程程中中形形成成了了磁磁疇疇，各各個(gè)個(gè)磁磁疇疇的的磁磁化化強(qiáng)度矢量是隨機(jī)的。強(qiáng)度矢量是隨機(jī)的。在在沒沒有有外外磁磁場(chǎng)場(chǎng)作作用用時(shí)時(shí)，各各個(gè)個(gè)磁磁疇疇互互相相均均衡衡，材材料料總總的的磁磁場(chǎng)場(chǎng)強(qiáng)度為零。強(qiáng)度為零。當(dāng)當(dāng)有有外外磁磁場(chǎng)場(chǎng)作作用用時(shí)時(shí)，磁磁疇疇的的磁磁化化強(qiáng)強(qiáng)度度矢矢量量向向外外磁磁場(chǎng)場(chǎng)方方向向轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)，材料呈現(xiàn)磁化。動(dòng)，材料呈現(xiàn)磁化。當(dāng)當(dāng)外外磁磁場(chǎng)場(chǎng)很很強(qiáng)強(qiáng)時(shí)時(shí)，各各個(gè)個(gè)磁磁疇疇的的磁磁場(chǎng)場(chǎng)強(qiáng)強(qiáng)度度矢矢量量都都轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)向向與與外外磁磁場(chǎng)平行，這時(shí)材料呈現(xiàn)飽和現(xiàn)象。場(chǎng)平行，這時(shí)材料呈現(xiàn)飽和現(xiàn)象。5.3電感式傳感器電感式傳感器Page65磁致伸縮效應(yīng)磁致伸縮效應(yīng)磁化過程中，各磁疇間的界限移動(dòng)產(chǎn)生機(jī)械變磁化過程中，各磁疇間的界限移動(dòng)產(chǎn)生機(jī)械變形，這種現(xiàn)象稱為磁致伸縮效應(yīng)。形，這種現(xiàn)象稱為磁致伸縮效應(yīng)。壓磁效應(yīng)壓磁效應(yīng) 鐵磁材料在應(yīng)力下鐵磁材料在應(yīng)力下,磁疇之間的界限移動(dòng)磁疇之間的界限移動(dòng),磁化磁化強(qiáng)度相應(yīng)變化。應(yīng)力使鐵磁材料的磁性質(zhì)發(fā)生變化的現(xiàn)象。強(qiáng)度相應(yīng)變化。應(yīng)力使鐵磁材料的磁性質(zhì)發(fā)生變化的現(xiàn)象。壓磁效應(yīng)的具體內(nèi)容是壓磁效應(yīng)的具體內(nèi)容是:受受壓壓力力時(shí)時(shí),作作用用力力方方向向磁磁導(dǎo)導(dǎo)率率減減小小,作作用用力力垂垂直直方方向向磁磁導(dǎo)導(dǎo)率率略略有有增大。增大。作用力取消后作用力取消后,磁導(dǎo)率復(fù)原。磁導(dǎo)率復(fù)原。鐵鐵磁磁材材料料的的壓壓磁磁效效應(yīng)應(yīng)還還與與外外磁磁場(chǎng)場(chǎng)有有關(guān)關(guān)。必必須須使使外外磁磁場(chǎng)場(chǎng)強(qiáng)強(qiáng)度度的的數(shù)數(shù)值一定。值一定。壓磁效應(yīng)壓磁效應(yīng) 5.3電感式傳感器電感式傳感器Page66壓磁式傳感器是一種無(wú)源傳感器。壓磁式傳感器是一種無(wú)源傳感器。它利用鐵磁材料的壓磁效應(yīng)，在外力作用時(shí)，鐵磁材料內(nèi)它利用鐵磁材料的壓磁效應(yīng)，在外力作用時(shí)，鐵磁材料內(nèi)部產(chǎn)生應(yīng)力或者應(yīng)力變化，引起鐵磁材料的磁導(dǎo)率變化。部產(chǎn)生應(yīng)力或者應(yīng)力變化，引起鐵磁材料的磁導(dǎo)率變化。鐵磁材料繞有線圈鐵磁材料繞有線圈(激勵(lì)繞組和輸出繞組激勵(lì)繞組和輸出繞組)，二次線圈阻抗，二次線圈阻抗的變化，或線圈間耦合系數(shù)的變化，從而使輸出電動(dòng)勢(shì)發(fā)的變化，或線圈間耦合系數(shù)的變化，從而使輸出電動(dòng)勢(shì)發(fā)生變化。生變化。通過相應(yīng)的測(cè)量電路，就可以根據(jù)輸出的量值來(lái)衡量外作通過相應(yīng)的測(cè)量電路，就可以根據(jù)輸出的量值來(lái)衡量外作用力。用力。壓磁式傳感器工作原理壓磁式傳感器工作原理5.3電感式傳感器電感式傳感器Page67壓磁式傳感器壓磁式傳感器工作原理演示圖工作原理演示圖 F F R RmmZ Z或或或或e e5.3電感式傳感器電感式傳感器Page68在壓磁材料的中間部分開有四個(gè)對(duì)稱的小孔在壓磁材料的中間部分開有四個(gè)對(duì)稱的小孔1 1、2 2、3 3和和4 4，在，在孔孔1 1、2 2間繞有激勵(lì)繞組間繞有激勵(lì)繞組N N1212，孔，孔3 3、4 4間繞有輸出繞組間繞有輸出繞組N N3434。當(dāng)激勵(lì)繞組中通過交流電流時(shí)，鐵心中就會(huì)產(chǎn)生磁場(chǎng)。若把當(dāng)激勵(lì)繞組中通過交流電流時(shí)，鐵心中就會(huì)產(chǎn)生磁場(chǎng)。若把孔間空間分成孔間空間分成A A、B B、C C、D D四個(gè)區(qū)域，在無(wú)外力作用的情況下，四個(gè)區(qū)域，在無(wú)外力作用的情況下，A A、B B、C C、D D四個(gè)區(qū)域的磁導(dǎo)率是相同的。這時(shí)合成磁場(chǎng)強(qiáng)度四個(gè)區(qū)域的磁導(dǎo)率是相同的。這時(shí)合成磁場(chǎng)強(qiáng)度H H平行于輸出繞組的平面，磁力線不與輸出繞組交鏈，平行于輸出繞組的平面，磁力線不與輸出繞組交鏈，N N3434不不產(chǎn)生感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)。產(chǎn)生感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)。壓磁式傳感器工作原理說明壓磁式傳感器工作原理說明 5.3電感式傳感器電感式傳感器Page69在壓力在壓力F F作用下，如圖作用下，如圖c c所示，所示，A A、B B區(qū)域?qū)⑹艿揭欢ǖ膽?yīng)力，區(qū)域?qū)⑹艿揭欢ǖ膽?yīng)力，而而C C、D D區(qū)域基本處于自由狀態(tài)，于是區(qū)域基本處于自由狀態(tài)，于是A A、B B區(qū)域的磁導(dǎo)率下區(qū)域的磁導(dǎo)率下降、磁阻增大，降、磁阻增大，C C、D D區(qū)域的磁導(dǎo)率基本不變。區(qū)域的磁導(dǎo)率基本不變。這樣激勵(lì)繞組所產(chǎn)生的磁力線將重新分布，部分磁力線繞這樣激勵(lì)繞組所產(chǎn)生的磁力線將重新分布，部分磁力線繞過過C C、D D區(qū)域閉合，于是合成磁場(chǎng)區(qū)域閉合，于是合成磁場(chǎng)H H不再與不再與N N3434平面平行，一平面平行，一部分磁力線與部分磁力線與N N3434交鏈而產(chǎn)生感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)交鏈而產(chǎn)生感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)e e。F F值越大，與值越大，與N N3434交鏈的磁通越多，交鏈的磁通越多，e e值越大。值越大。壓磁式傳感器工作原理說明壓磁式傳感器工作原理說明 5.3電感式傳感器電感式傳感器Page70壓磁元件壓磁元件 壓磁元件是力壓磁元件是力-電轉(zhuǎn)換元件。電轉(zhuǎn)換元件。材料有硅鋼片、坡莫合金和一些鐵氧體。材料有硅鋼片、坡莫合金和一些鐵氧體。坡莫合金坡莫合金,高靈敏度高靈敏度,價(jià)格貴價(jià)格貴;鐵氧體，高的靈敏度鐵氧體，高的靈敏度,脆而不采用。脆而不采用。最常用硅鋼片，為了減小渦流損耗最常用硅鋼片，為了減小渦流損耗,采用薄片的鐵磁材料疊采用薄片的鐵磁材料疊合而成。合而成。5.3電感式傳感器電感式傳感器Page71v壓磁式傳感器具有輸出功率大、抗干擾能力強(qiáng)、過壓磁式傳感器具有輸出功率大、抗干擾能力強(qiáng)、過載性能好、結(jié)構(gòu)和電路簡(jiǎn)單、能在惡劣環(huán)境下工作、載性能好、結(jié)構(gòu)和電路簡(jiǎn)單、能在惡劣環(huán)境下工作、壽命長(zhǎng)等一系列優(yōu)點(diǎn)。壽命長(zhǎng)等一系列優(yōu)點(diǎn)。v目前，這種傳感器已成功地用在冶金、礦山、造紙、目前，這種傳感器已成功地用在冶金、礦山、造紙、印刷、運(yùn)輸?shù)雀鱾€(gè)工業(yè)部門。印刷、運(yùn)輸?shù)雀鱾€(gè)工業(yè)部門。v例如用來(lái)測(cè)量軋鋼的軋制力、鋼帶的張力、紙張的例如用來(lái)測(cè)量軋鋼的軋制力、鋼帶的張力、紙張的張力，吊車提物的自動(dòng)測(cè)量、配料的稱量、金屬切削張力，吊車提物的自動(dòng)測(cè)量、配料的稱量、金屬切削過程的切削力以及電梯安全保護(hù)等。過程的切削力以及電梯安全保護(hù)等。壓磁式傳感器特點(diǎn)壓磁式傳感器特點(diǎn)5.3電感式傳感器電感式傳感器Page725.4 5.4 電容式傳感器電容式傳感器 1 1 工作原理及類型工作原理及類型 電容式傳感器實(shí)質(zhì)是一電容式傳感器實(shí)質(zhì)是一 具有可變參數(shù)的電容器。具有可變參數(shù)的電容器。中間充滿介質(zhì)的兩塊平中間充滿介質(zhì)的兩塊平 行金屬極板構(gòu)成的電容行金屬極板構(gòu)成的電容器，其電容量為：器，其電容量為：式中，式中，：介質(zhì)相對(duì)真空的介電常數(shù)，空氣：介質(zhì)相對(duì)真空的介電常數(shù)，空氣1 1；0 0：真空的介電常數(shù)，：真空的介電常數(shù)，0 0=8.85=8.85 1010-12-12F F/m m；：極板間距；：極板間距；A A：極板面積。：極板面積。Page73 當(dāng)被測(cè)量使當(dāng)被測(cè)量使、A A或或 發(fā)生變化時(shí)，都會(huì)引起發(fā)生變化時(shí)，都會(huì)引起C C的變的變化。實(shí)際使用中，通常僅改變一個(gè)參數(shù)，根據(jù)變化參化。實(shí)際使用中，通常僅改變一個(gè)參數(shù)，根據(jù)變化參數(shù)的不同，可分為數(shù)的不同，可分為三類三類：改變極板間距的極距變化型改變極板間距的極距變化型 改變極板相互遮蓋面積的面積變化型改變極板相互遮蓋面積的面積變化型 改變極板間介質(zhì)的介質(zhì)變化型（改變改變極板間介質(zhì)的介質(zhì)變化型（改變）工作原理及類型工作原理及類型5.4電容式傳感器電容式傳感器Page74初始電容：初始電容：顯然，顯然，C C 與極距成反比（如圖）。與極距成反比（如圖）。1 1）極距變化型）極距變化型電容器電容器5.4電容式傳感器電容式傳感器Page75靈靈敏敏度度與與極極距距的的平平方方成成反反比比，極極距距越越小小，靈靈敏敏度度越越高高，但但極極距距減減小小受極板間擊穿電壓的限制。受極板間擊穿電壓的限制。為為了了減減小小因因靈靈敏敏度度隨隨極極距距變變化化導(dǎo)導(dǎo)致致的的非非線線性性誤誤差差，通通常常極極距距變變化化范范圍圍/0 0 0.10.1。此類電容傳感器僅適于較小位移的測(cè)量（此類電容傳感器僅適于較小位移的測(cè)量（0.010.01 m m數(shù)百微米）數(shù)百微米）。靈敏度：靈敏度：當(dāng)兩極板在被測(cè)參數(shù)作用下發(fā)生位移時(shí)當(dāng)兩極板在被測(cè)參數(shù)作用下發(fā)生位移時(shí),引起電容的引起電容的變化為：變化為：極距變化型極距變化型電容器電容器靈敏度靈敏度5.4電容式傳感器電容式傳感器Page76實(shí)際應(yīng)用中，為實(shí)際應(yīng)用中，為了提高靈敏度、了提高靈敏度、線性及克服某線性及克服某 些外界條件（如些外界條件（如 電源電壓、環(huán)境電源電壓、環(huán)境 溫度等）的變化溫度等）的變化 對(duì)測(cè)量精度的影對(duì)測(cè)量精度的影 響常采用差動(dòng)式（如右圖）。此時(shí)靈敏度提高一倍，響常采用差動(dòng)式（如右圖）。此時(shí)靈敏度提高一倍，非線性誤差減小非線性誤差減小 。差動(dòng)式差動(dòng)式極距變化型極距變化型電容器電容器5.4電容式傳感器電容式傳感器Page77其它極距變化型其它極距變化型電容器圖例電容器圖例5.4電容式傳感器電容式傳感器Page78包括包括角位移型角位移型和和線位移型線位移型（平面線位移和圓柱體線位移）（平面線位移和圓柱體線位移）兩種。兩種。q 角位移型角位移型 1 動(dòng)板動(dòng)板 2 定板定板其中，其中，：覆蓋面積對(duì)應(yīng)的中心角；：覆蓋面積對(duì)應(yīng)的中心角；r r：極板半徑。：極板半徑。2 2）面積變化型電容式傳感器）面積變化型電容式傳感器5.4電容式傳感器電容式傳感器Page791 動(dòng)板動(dòng)板 2 定板定板其中，其中，b b：極板寬度。：極板寬度。平面線位移型電容式傳感器平面線位移型電容式傳感器5.4電容式傳感器電容式傳感器Page801 動(dòng)板動(dòng)板 2 定板定板其中，其中，D D：圓筒孔徑；：圓筒孔徑；d d：圓柱外徑。：圓柱外徑。面積變化型電容傳感器輸入輸出成線性關(guān)系，但靈敏面積變化型電容傳感器輸入輸出成線性關(guān)系，但靈敏度較低，適用于較大直線位移及角位移測(cè)量。度較低，適用于較大直線位移及角位移測(cè)量。圓柱線位移型電容式傳感器圓柱線位移型電容式傳感器5.4電容式傳感器電容式傳感器Page81其它面積變化型其它面積變化型電容器圖例電容器圖例5.4電容式傳感器電容式傳感器Page82多用于測(cè)量電介質(zhì)的厚度多用于測(cè)量電介質(zhì)的厚度(圖圖a a)、位移、位移(圖圖b b)、液位、液位(圖圖c c)；還可根據(jù)極板間介質(zhì)的介電常數(shù)隨溫度、濕度、；還可根據(jù)極板間介質(zhì)的介電常數(shù)隨溫度、濕度、容量改變而改變來(lái)測(cè)量溫度、濕度、容量容量改變而改變來(lái)測(cè)量溫度、濕度、容量(圖圖d d)等。等。變介電常數(shù)型電容傳感器變介電常數(shù)型電容傳感器5.4電容式傳感器電容式傳感器Page83 1)1)輸入能量小（極板間靜電引力?。?、靈敏度高輸入能量小（極板間靜電引力?。?、靈敏度高 ；2)2)電參量相對(duì)變化大；電參量相對(duì)變化大；3)3)動(dòng)態(tài)特性好（可動(dòng)質(zhì)量小，固有頻率高）；動(dòng)態(tài)特性好（可動(dòng)質(zhì)量小，固有頻率高）；4)4)發(fā)熱小，能量損耗小發(fā)熱小，能量損耗小 ；5)5)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、適應(yīng)性好，可在高、低溫、強(qiáng)輻射環(huán)境中結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、適應(yīng)性好，可在高、低溫、強(qiáng)輻射環(huán)境中工作工作 ；6)6)可實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量?？蓪?shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量。1.1.主要優(yōu)點(diǎn)主要優(yōu)點(diǎn)5.4.25.4.2電容式傳感器電容式傳感器特點(diǎn)與應(yīng)用特點(diǎn)與應(yīng)用5.4電容式傳感器電容式傳感器Page84 非線性大：非線性大：對(duì)于極距變化型電容傳感器非線性大；對(duì)于極距變化型電容傳感器非線性大；解決辦法解決辦法：差動(dòng)電路（不能完全消除）：差動(dòng)電路（不能完全消除）比例運(yùn)算放大器比例運(yùn)算放大器電容式傳感器電容式傳感器缺點(diǎn)及解決辦法（）缺點(diǎn)及解決辦法（）5.4電容式傳感器電容式傳感器Page85電容式傳感器電容式傳感器缺點(diǎn)及解決辦法（）缺點(diǎn)及解決辦法（）電纜分布電容影響大。電纜分布電容影響大。傳感器兩極板之間的電容很小，僅幾十個(gè)傳感器兩極板之間的電容很小，僅幾十個(gè)pFpF，小的甚至只有幾，小的甚至只有幾個(gè)個(gè)pFpF。而傳感器與電子儀器之間的連接電纜卻具有很大的電容，。而傳感器與電子儀器之間的連接電纜卻具有很大的電容，如屏蔽線的電容最小的如屏蔽線的電容最小的l l米也有幾個(gè)米也有幾個(gè)pFpF，最大的可達(dá)上百個(gè)，最大的可達(dá)上百個(gè)pFpF。解決辦法：解決辦法：1)1)利用集成電路利用集成電路(微型集成塊植入傳感器內(nèi)以減少寄生電容微型集成塊植入傳感器內(nèi)以減少寄生電容的影響的影響)；2)2)利用雙屏蔽傳輸電纜。利用雙屏蔽傳輸電纜。5.4電容式傳感器電容式傳感器Page86應(yīng)用：電容式測(cè)厚儀應(yīng)用：電容式測(cè)厚儀5.4電容式傳感器電容式傳感器Page87應(yīng)用：電容式轉(zhuǎn)速傳感器應(yīng)用：電容式轉(zhuǎn)速傳感器5.4電容式傳感器電容式傳感器Page88電容式測(cè)力傳感器電容式測(cè)力傳感器5.4電容式傳感器電容式傳感器Page895.5 壓電式傳感器壓電式傳感器 壓電式傳感器是一種壓電式傳感器是一種可逆型可逆型換能器，既可以將機(jī)械能換能器，既可以將機(jī)械能轉(zhuǎn)變?yōu)殡娔?，又能將電能轉(zhuǎn)變成機(jī)械能。其工作原理轉(zhuǎn)變?yōu)殡娔?，又能將電能轉(zhuǎn)變成機(jī)械能。其工作原理是利用某些物質(zhì)的是利用某些物質(zhì)的壓電效應(yīng)壓電效應(yīng)。壓電效應(yīng)壓電效應(yīng) 變換原理變換原理某些晶體在外力作用下，不僅產(chǎn)生形變，而且內(nèi)部發(fā)生某些晶體在外力作用下，不僅產(chǎn)生形變，而且內(nèi)部發(fā)生極化現(xiàn)象，在其表面產(chǎn)生電荷，形成電場(chǎng)；去掉外力后極化現(xiàn)象，在其表面產(chǎn)生電荷，形成電場(chǎng)；去掉外力后又重新回到不帶電的平衡狀態(tài)，這種現(xiàn)象稱為又重新回到不帶電的平衡狀態(tài)，這種現(xiàn)象稱為壓電效應(yīng)壓電效應(yīng)。Page90與壓電效應(yīng)相反，如果將具有壓電效應(yīng)的晶體置于電場(chǎng)與壓電效應(yīng)相反，如果將具有壓電效應(yīng)的晶體置于電場(chǎng)中，在一定方向上產(chǎn)生機(jī)械變形或機(jī)械應(yīng)力，撤去外電中，在一定方向上產(chǎn)生機(jī)械變形或機(jī)械應(yīng)力，撤去外電場(chǎng)，變形和應(yīng)力消失，這種現(xiàn)象為場(chǎng)，變形和應(yīng)力消失，這種現(xiàn)象為逆壓電效應(yīng)逆壓電效應(yīng)。具有壓電效應(yīng)的敏感功能材料稱為具有壓電效應(yīng)的敏感功能材料稱為壓電材料壓電材料。常用的壓電材料常用的壓電材料:l壓電單晶體壓電單晶體:如石英、酒石酸鉀鈉等如石英、酒石酸鉀鈉等;l多晶壓電陶瓷多晶壓電陶瓷:如鈦酸鋇、鋯鈦酸鉛、鈮鎂酸鉛如鈦酸鋇、鋯鈦酸鉛、鈮鎂酸鉛等等,又稱為壓電陶瓷。又稱為壓電陶瓷。l聚偏二氟乙烯聚偏二氟乙烯(PVDF)PVDF):一種新型的高分子物性型一種新型的高分子物性型傳感材料傳感材料 逆壓電效應(yīng)逆壓電效應(yīng)5.5壓電式傳感器壓電式傳感器Page91理想形狀：中間為六棱柱，兩端為對(duì)稱的棱錐，共理想形狀：中間為六棱柱，兩端為對(duì)稱的棱錐，共3030個(gè)晶面。個(gè)晶面。石英晶體的石英晶體的壓電效效應(yīng)光軸光軸電軸電軸機(jī)械軸機(jī)械軸光軸：光軸：z z 軸，與晶體縱軸方軸，與晶體縱軸方向一致。光線沿向一致。光線沿 z z 軸方向通軸方向通過晶體不發(fā)生雙折射。過晶體不發(fā)生雙折射。沿光軸的作用力不產(chǎn)生壓電效應(yīng)，沿光軸的作用力不產(chǎn)生壓電效應(yīng)，故又稱為故又稱為中性軸中性軸。5.5壓電式傳感器壓電式傳感器Page92電軸：電軸：x x 軸，通過兩個(gè)相對(duì)的六角棱線并垂直于光軸的軸，通過兩個(gè)相對(duì)的六角棱線并垂直于光軸的軸線。垂直于此軸的晶面上有最強(qiáng)的壓電效應(yīng)。軸線。垂直于此軸的晶面上有最強(qiáng)的壓電效應(yīng)。機(jī)械軸：機(jī)械軸：y y軸，垂直于軸，垂直于x x軸和軸和z z軸所在平面的軸線。在電場(chǎng)作軸所在平面的軸線。在電場(chǎng)作用下，用下，y y軸具有最明顯的機(jī)械變形。軸具有最明顯的機(jī)械變形。石英晶體石英晶體z z軸僅一個(gè)，軸僅一個(gè)，x x軸和軸和y y軸各有軸各有3 3個(gè)。個(gè)。石英晶體的石英晶體的壓電效效應(yīng)5.5壓電式傳感器壓電式傳感器Page93壓電效效應(yīng)模型模型 縱向壓電效應(yīng)縱向壓電效應(yīng)：沿：沿x x軸加力，電荷出現(xiàn)在垂直于軸加力，電荷出現(xiàn)在垂直于x x軸的表面。軸的表面。橫橫向向壓壓電電效效應(yīng)應(yīng)：沿沿 y y 軸軸加加力力，電電荷荷仍仍出出現(xiàn)現(xiàn)在在垂垂直直于于 x x 軸軸的的表表面。面。切切向向壓壓電電效效應(yīng)應(yīng)：沿沿x x軸軸或或y y軸軸施施加加垂垂直直于于z z軸軸的的剪剪切切力力，在在垂垂直直于于 x x 軸的晶體表面產(chǎn)生電荷。軸的晶體表面產(chǎn)生電荷。5.5壓電式傳感器壓電式傳感器Page94壓電式傳感器及其等效電路壓電式傳感器及其等效電路 在壓電晶片的兩個(gè)工作面上進(jìn)行在壓電晶片的兩個(gè)工作面上進(jìn)行金屬蒸鍍，形成金屬膜，構(gòu)成兩金屬蒸鍍，形成金屬膜，構(gòu)成兩個(gè)電極。當(dāng)壓電晶片受到壓力個(gè)電極。當(dāng)壓電晶片受到壓力F F的作用時(shí)，分別在兩個(gè)極板上積的作用時(shí)，分別在兩個(gè)極板上積聚數(shù)量相等而極性相反的電荷，聚數(shù)量相等而極性相反的電荷，形成電場(chǎng)。形成電場(chǎng)。壓電元件的開路電壓：壓電元件的開路電壓：U Ua a=q q/C Ca a5.5壓電式傳感器壓電式傳感器Page95若考慮負(fù)載（測(cè)量電路），等效電路如下：若考慮負(fù)載（測(cè)量電路），等效電路如下：假設(shè)一恒定力假設(shè)一恒定力F F作用于壓電器件，產(chǎn)生電量作用于壓電器件，產(chǎn)生電量q q，則輸出電則輸出電壓：壓：其中，其中，C